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      電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>厚硅片的高速激光切片研究

      厚硅片的高速激光切片研究

      2021-04-09 | rar | 0.91 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　基于激光切片原理的分析，給出了厚硅片的高速激光切片方法，采用平凸腔補償工作物質的熱透鏡效應，利用 Ｎｄ∶ＹＡＧ棒本身的自孔徑選模作用，獲得了光束質量因子 犕２ 等于４．１９的５０Ｗ１．０６４μｍ 激光輸出。選取合適的擴束倍數、重復頻率和出氣孔直徑，當切割０．７５ｍｍ 厚的硅片時，切片速度達４００ｍｍ／ｍｉｎ；當切割兩層疊放的０．７５ｍｍ 厚的硅片時，切片速度達到１００ｍｍ／ｍｉｎ。切片的切口光滑，切縫較窄，重復精度高，切片質量好，達到用傳統方法難以達到的切片效果。

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