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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>MEMS陀螺儀的工作原理詳細(xì)概述

      MEMS陀螺儀的工作原理詳細(xì)概述

      2020-12-30 | pdf | 0.27 MB | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      　　陀螺儀是用來測量角速率的器件，在加速度功能基礎(chǔ)上，可以進(jìn)一步發(fā)展，構(gòu)建陀螺儀。陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的：對固定指施加電壓，并交替改變電壓，讓一個質(zhì)量塊做振蕩式來回運(yùn)動，當(dāng)旋轉(zhuǎn)時，會產(chǎn)生科里奧利加速度，此時就可以對其進(jìn)行測量；這有點(diǎn)類似于加速度計，解碼方法大致相同，都會用到放大器。

      　　角速率由科氏加速度測量結(jié)果決定 - 科氏加速度 = 2 × （w × 質(zhì)量塊速度） - w 是施加的角速率（w = 2 πf） 通過 14 kHz 共振結(jié)構(gòu)施加的速度（周期性運(yùn)動）快速耦合到加速度計框架 - 科氏加速度與諧振器具有相同的頻率和相位，因此可以抵消低速外部振動該機(jī)械系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與加速度計相似（微加工多晶硅）信號調(diào)理（電壓轉(zhuǎn)換偏移）采用與加速度計類似的技術(shù)施加變化的電壓來回移動器件，此時器件只有水平運(yùn)動沒有垂直運(yùn)動。如果施加旋轉(zhuǎn)，可以看到器件會上下移動，外部指將感知該運(yùn)動，從而就能拾取到與旋轉(zhuǎn)相關(guān)的信號。

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