資料介紹
該課程是根據(jù)半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、制造、工藝這一流程而設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)課程,L-edit是針對(duì)版圖設(shè)計(jì)而編制的應(yīng)用軟件,學(xué)生通過課程的學(xué)習(xí),對(duì)半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)、制造、工藝等方面有一個(gè)全面的了解,實(shí)驗(yàn)課程分為三大部分。
(1) 集成電路工藝流程
(2) 測(cè)量
(3) 用L-edit軟件進(jìn)行集成電路的設(shè)計(jì)
在此,主要討論第三部分:用L-edit軟件進(jìn)行集成電路的設(shè)計(jì)中的重點(diǎn)、難點(diǎn)和心得體會(huì)。
L-Edit是一個(gè)圖形編輯器,它允許生成和修改集成電路掩模版上的幾何圖形。鼠標(biāo)接口允許用戶執(zhí)行一般圖形操作。既可使用鼠標(biāo)訪問下拉菜單也可以使用鍵盤來(lái)調(diào)用L-Edit命令。
結(jié)合雙極型集成電路為例,來(lái)說明集成電路中元件的形成過程以及版圖設(shè)計(jì)的一般過程。雙極型集成電路的基本制造工藝,可初略的分為兩類:一類為在元器件間要作電隔離區(qū),另一類為元器件間自然隔離,具體講有如下的步驟:
①劃分隔離區(qū)
②基本設(shè)計(jì)條件的確定,包括采用的工藝,基本的工藝設(shè)計(jì)參數(shù)和版圖設(shè)計(jì)規(guī)則。
③各單元的圖形設(shè)計(jì),集成電路中各元器件的圖形和尺寸,取決于它在集成電路中的作用以及對(duì)參數(shù)的要求,所有尺寸的設(shè)計(jì)要符合版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求。所以在進(jìn)行各單元的圖形、尺寸設(shè)計(jì)前,首先要對(duì)電路進(jìn)行分析。
④布局,即把元器件按照電路的要求以及連線的要求,安排在合適的位置上。
⑤布線,即按照電路的連接關(guān)系以及連線的要求,把元器件連接成電路的符合版圖。
在教學(xué)過程中發(fā)現(xiàn)學(xué)生在學(xué)習(xí)L-edit軟件的過程中存在幾個(gè)突出的概念性誤區(qū),下面我分三個(gè)方面來(lái)談:
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