資料介紹
在微細通孔電化學微加工中,由于電解液更新困難而引起的加工過程的不穩定性一直是一個尚未解決的問題。因此,本文采用微螺旋電極與噴射電解液相結合的方法,對微細通孔的電化學微細加工進行了研究。借助于微螺旋電極的高速旋轉及其螺旋形狀,可以攪拌內部電解液,而外部噴射電解液可以沿螺旋槽流入孔內,有效地刷新電解液,從而提高電解金屬錳的加工穩定性。首先,研究了工藝參數對無導電掩模微螺旋電極在電解金屬錳中制備微通孔的影響。在優化工藝參數的基礎上,成功地獲得了入口尺寸為121.6μm、出口尺寸為114.9μm的微孔。此外,本文還嘗試用涂有非導電掩膜的微螺旋電極來減小雜散腐蝕的不良影響。結果表明,在脈沖頻率較低(《1khz)的條件下,涂在微螺旋電極表面的非導電掩模可以顯著提高加工精度,但隨著脈沖頻率的增加,其良好的防雜散腐蝕效果逐漸減弱
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