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根據(jù)等厚干涉光強(qiáng)分布規(guī)律，從頻域的角度介紹了干涉式量塊比較儀的定標(biāo)方法。用CCD采集單色光等厚干涉圖像，計算機(jī)對圖像作傅立葉變換并提取主頻信息，通過簡單運(yùn)算完成比較儀的自動化定標(biāo)。根據(jù)定標(biāo)結(jié)果，成功開發(fā)出量塊比較儀機(jī)器視覺自動化讀數(shù)系統(tǒng)，該系統(tǒng)測量重復(fù)性s=0.006μm，示值誤差δ=0.024μm。
目前3等以下量塊主要運(yùn)用與2等標(biāo)準(zhǔn)量塊相比較的方法進(jìn)行檢定［1］，所使用傳統(tǒng)光學(xué)接觸式干涉儀（如烏氏干涉儀）均是六、七十年代產(chǎn)品，靠人眼讀取等厚干涉條紋位置刻度值，勞動強(qiáng)度大，易引入人為誤差。為提高自動化水平，先后出現(xiàn)了電感式與光柵式等新型智能化比較儀，這些運(yùn)用全新位移傳感原理的量塊比較儀相對于傳統(tǒng)烏氏干涉儀而言造價偏高，在測量效率與準(zhǔn)確度方面卻沒有明顯提高，反而有所下降。可以說目前還沒有一種量塊比較儀在使用壽命和長期穩(wěn)定性方面能與傳統(tǒng)的等厚干涉式比較儀相媲美。
近年來機(jī)器視覺技術(shù)在干涉類長度計量領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用［2］。運(yùn)用機(jī)器視覺技術(shù)對傳統(tǒng)烏氏干涉儀進(jìn)行改造，既能保留原等厚干涉式比較儀的技術(shù)優(yōu)勢，又能實(shí)現(xiàn)測量的自動化，且成本低廉。測量前需用單色光形成周期性等厚干涉條紋進(jìn)行定標(biāo)，傳統(tǒng)的數(shù)條紋方法費(fèi)時費(fèi)力且不利于計算機(jī)進(jìn)行自動化操作。采用傅立葉變換方法提取周期性等厚干涉條紋的主頻信息，計算機(jī)能迅速完成定標(biāo)操作，且具有極強(qiáng)的抑噪能力。
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