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電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>微波電源控制器的研制

微波電源控制器的研制

2018-01-18 | rar | 0.48 MB | 次下載 | 2積分

資料介紹

  微波等離子體技術具有極其廣闊的應用領域,如等離子體增強化學氣相沉積、等離子體表面處理以及等離子體刻蝕等。微波電源作為微波等離子體設備的核心,是激發與維持微波等離子體的動力。它的輸出功率直接決定了等離子體的各項參數,影響到工藝效果。所以,為了取得良好的工藝效果與穩定性,需要設計控制器保證微波電源穩定可靠的工作。鑒于此,本文基于嵌入式技術,以C805IF500為控制核心,引入數字化與光信號化的測控電路設計微波電源控制器陸-,該控制器包括供電電源部分與測控部分,通過優化的硬件電路,輔以合適的抗干擾措施,保證了微波電源在控制器作用下可靠工作。

微波電源控制器的研制

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