資料介紹
隨著硅基光子集成技術(shù)的發(fā)展,需要在不影響光子芯片正常T作的情況下,對(duì)集成光路中各通道上的光強(qiáng)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),來(lái)有效的調(diào)整光子集成系統(tǒng)的T作狀態(tài)以達(dá)到最優(yōu)系統(tǒng)性能。各種可在硅襯底上單片集成的新型監(jiān)測(cè)光探測(cè)器(MPD)成為光電器件領(lǐng)域研究的熱點(diǎn),但不論這些MPD是基于何種吸收機(jī)制(表面態(tài)吸收、雙光子吸收、鍺吸收以及雜質(zhì)能級(jí)缺陷態(tài)吸收),他們的共同特點(diǎn)是低速直流丁作,微量信號(hào)檢測(cè)。也就是說(shuō),無(wú)論檢測(cè)光路上光信號(hào)的調(diào)制速率高低,MPD上得到的只是光功率的平均值,同時(shí)進(jìn)入MPD的光是微量的(例如,僅為檢測(cè)光路光功率的萬(wàn)分之一,MPD上產(chǎn)生的光生電流也是微弱的(納安量級(jí))。MPD光生電流的放大成為后續(xù)電子電路中的重要部分。
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