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本文討論了大功率超高速半導(dǎo)體開關(guān)RSD（Reversely Switched Dynistor）導(dǎo)通時(shí)的集膚效應(yīng)，在考慮了大注入效應(yīng)和強(qiáng)場(chǎng)引起的雪崩電離效應(yīng)的RSD模型基礎(chǔ)上，得到了在集膚效應(yīng)影響下的芯片上的電流密度分布，越靠近邊沿電流密度越大，且隨著電流上升率的提高芯片中心和邊沿電流密度的差距加大，該結(jié)論得到了初步實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。基于此，在電流上升率很高的短脈沖放電應(yīng)用中，應(yīng)盡量使用小直徑RSD芯片，以提高芯片面積的利用率
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