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電子發燒友網>電子資料下載>工控技術>先進封裝的后端工藝之一:晶圓切片

先進封裝的后端工藝之一:晶圓切片

2021-04-09 | rar | 0.02 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  在過去三十年期間,切片(dicing)系統與刀片(blade)已經不斷地改進以對付工藝的挑戰和接納不同類型基板的要求。最新的、對生產率造成最大影響的設備進展包括:采用兩個切割(two cuts)同時進行的、將超程(overtravel)減到最小的雙軸(dual-spindle)切片系統,代表性的有日本東精精密的AD3000T和AD2000T;自動心軸扭力監測和自動冷卻劑流量調節能力。重大的切片刀片進步包括一些刀片,它們用于很窄條和/或較高芯片尺寸的晶圓、以銅金屬化的晶圓、非常薄的晶圓、和在切片之后要求表面拋光的元件用的晶圓。許多今天要求高的應用都要求設備能力和刀片特性兩方面都最優化的工藝,以盡可能最低的成本提供盡可能高的效率。

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