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提出了利用一種特殊設計的 LED 多光束環(huán)狀 分布照明光源，與顯微鏡組成超光滑表面元件缺陷檢測的光學顯微散射成像系統(tǒng)，獲取適合于數(shù)字圖像二值化處理的暗背景上的亮瑕疵圖像。利用 X、Y 兩方向的精密移導系統(tǒng)對表面實施子孔徑圖像的掃描。 在原有的子孔徑圖像拼接 “邊緣拓展法”算法的基礎上，提出一種基于特征分類的多層次圖像拼接算法。 該算法分為特征分類和多層次拼接兩個部分：通過重疊區(qū)域內特征的提取和分類，將所有子孔徑圖像的重疊區(qū)域分為四類；然 后 針對這四類重疊區(qū)域的不同特點，有次序地進行圖像拼接，最終得到 全景圖像。 并應用二元光學制作了標準比對板，以獲得瑕疵正確的數(shù)字化評價依據(jù)。 實驗結果證明：該系統(tǒng)和算法特別適合在被測表 面范圍較大、具有微米量級分辨率的瑕疵的數(shù)字化定量檢測和評價。
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