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由于 半導(dǎo)體激光器和 新型 光 電位置 檢 測 元件 ( 如 C C D 陣列 和 P S D 器件等 ) 的發(fā)展 , 使得 以經(jīng)典的光學(xué)三角法為 基本 原理 的激光 三角 位移計(jì)在測 量頭小型化 、 測 量高精度和高速度等 方面得到 了長足 的進(jìn)展 。 這種小型化的位移計(jì)可方便地用 于多種場合下的高精度位移測 量 , 其 中尤 以在三坐 標(biāo)測 量機(jī)上取代傳 統(tǒng)的接觸式 測頭 以及動態(tài) 位移的非接觸測量的應(yīng)用方面具有 廣 闊 的前景.l[ 2〕 。 但 目前仍有很多 影響其測量精度的因素 , 如被測表面的顏色 、 材料 、 粗糙度 、 光 學(xué)性質(zhì)和 表面傾斜等 。 前四 種因 素產(chǎn)生 的誤 差原則 上可通過標(biāo)定 的方法使其減少或消 除 , 而表 面傾斜的 影響則 需要在測 量中 同時知道被測 表面 的傾斜角度才能對其誤差加 以修正 。 目前尚 無較好的方法能在測 量位移的 同時獲得 傾斜角的信息 。 本 文擬在光散射的理論基礎(chǔ) 上詳細(xì)討 論物體表面傾斜與激光三角位移計(jì)接收透鏡接收 到 的光功率 的關(guān) 系 , 提 出了一種在測量位移 的同時測量傾斜角的方法 , 給出 了計(jì)算機(jī)模擬及實(shí)測結(jié)果
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