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      電子發燒友網>電子資料下載>無線通信>MEMS靜電執行光開關的設計與實驗

      MEMS靜電執行光開關的設計與實驗

      2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      介紹了一種基于靜電執行的自對準型垂直鏡面微機械光開關,該光開關由垂直反射鏡面、懸臂梁、光纖定位槽等組成。微反射鏡和V型光纖定位槽的自對準由同一塊掩膜板實現。微反射鏡和V字型光纖槽通過對(100)單晶硅的各向異性腐蝕實現。論文給出光開關的結構設計,并實驗驗證了上述自對準光開關的加工工藝。
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