電子發(fā)燒友App
創(chuàng)作
發(fā)文章
發(fā)帖 
提問 
發(fā)資料
發(fā)視頻資料介紹
改變傳感器可動極板的結(jié)構(gòu)是解決MEMS電容式壓力傳感器信號輸出與壓力輸入呈非線性關(guān)系問題的方法之一。設(shè)計(jì)了一種新型結(jié)構(gòu)電容式壓力傳感器，其可動極板是LPCVD氮化硅構(gòu)成的一個方形薄膜，薄膜中心到邊緣之間由PECVD氧化硅構(gòu)筑一個環(huán)形島棱，使可動極板在壓力負(fù)載下的變形趨于平整，減小了邊緣雜散電容帶來的非線性，從而改善了該傳感器的輸出特性。利用有限元方法分析了不同尺寸的動極板在不同外加壓力作用下壓力與形變的關(guān)系。以及相應(yīng)的應(yīng)力分布情況，并采用最dx--乘擬合直線法計(jì)算了壓力傳感器的線性度。分析結(jié)果表明，與常規(guī)的雙極板微型電容式壓力傳感器相比，新型結(jié)構(gòu)壓力傳感器的線性度改善了48．38％，達(dá)到了1。6％。
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 自研電容式多通道觸覺壓力傳感器介紹資料（v1
- 電容壓力傳感器規(guī)格書
- 智能剝離SOI高溫壓力傳感器 11次下載
- 高性能MEMS電容壓力傳感器的設(shè)計(jì)及其熱分析的詳細(xì)資料分析 12次下載
- 高性能MEMS電容壓力傳感器的設(shè)計(jì)及其熱分析 23次下載
- 硅島式微諧振壓力傳感器靈敏度分析與仿真 16次下載
- MEMS壓力傳感器相關(guān)基礎(chǔ)及應(yīng)用 122次下載
- 壓力傳感器工作原理解析 36次下載
- 傳感器技術(shù)與常用壓力傳感器特點(diǎn)及差異解析 16次下載
- 電容式薄膜真空壓力傳感器設(shè)計(jì)_王凡 12次下載
- 微型結(jié)構(gòu)壓力傳感器
- 基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的電容式壓力傳感器非線性校正
- 電容應(yīng)變式壓力傳感器原理及檢測電路設(shè)計(jì)
- 電容式力傳感器的研制
- 電容應(yīng)變式壓力傳感器原理及檢測電路設(shè)計(jì)
- 基于可編程微結(jié)構(gòu)的離電子式壓力傳感器 718次閱讀
- 基于KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜的微型電容氣象壓力傳感器 3412次閱讀
- 基于微電子機(jī)械加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)電磁拾振諧振式壓力傳感器的設(shè)計(jì) 1731次閱讀
- 電容式壓力傳感器的類型及原理解析 7836次閱讀
- 電容式傳感器有哪些_電容式傳感器的應(yīng)用場合 2.7w次閱讀
- 電容式傳感器的應(yīng)用_電容式傳感器測量電路 2.1w次閱讀
- 電容式傳感器的工作原理與分類_電容式傳感器的幾種基本形式 6.9w次閱讀
- 常用的一些壓力傳感器的工作原理及應(yīng)用介紹 4537次閱讀
- 分析壓力傳感器原理結(jié)構(gòu) 7289次閱讀
- 壓力傳感器測試方法_壓力傳感器的測量原理_壓力傳感器種類 3.4w次閱讀
- 常用壓力傳感器型號有哪些_壓力傳感器型號大全 4.9w次閱讀
- 電容式傳感器的分類、優(yōu)缺點(diǎn)和電容式傳感器的測量轉(zhuǎn)換電路 1.4w次閱讀
- 電容式傳感器的工作原理、結(jié)構(gòu)類型及其應(yīng)用與注意事項(xiàng) 6.5w次閱讀
- MEMS壓力傳感器原理及應(yīng)用詳解 2.7w次閱讀
- 醫(yī)療應(yīng)用新突破 MEMS壓力傳感器創(chuàng)新設(shè)計(jì) 2007次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1蘇泊爾電磁爐線路的電路原理圖資料合集
- 2.02 MB | 286次下載 | 5 積分
- 2長虹液晶電視R-HS310B-5HF01的電源板電路原理圖
- 0.46 MB | 87次下載 | 5 積分
- 3AO4803A雙P通道增強(qiáng)型場效應(yīng)晶體管的數(shù)據(jù)手冊
- 0.11 MB | 28次下載 | 2 積分
- 4長虹液晶彩電LS29機(jī)芯的技術(shù)資料說明
- 3.42 MB | 16次下載 | 2 積分
- 5TP4055 500mA線性鋰離子電池充電器中文手冊
- 0.75 MB | 9次下載 | 免費(fèi)
- 6TP4054 400mA線性鋰離子電池充電器中文手冊
- 0.70 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
- 7TP4057X 500mA線性鋰離子電池充電器中文手冊
- 0.74 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
- 8AI智能眼鏡產(chǎn)業(yè)鏈分析
- 4.43 MB | 2次下載 | 免費(fèi)
本月
- 1蘇泊爾電磁爐線路的電路原理圖資料合集
- 2.02 MB | 286次下載 | 5 積分
- 2人形機(jī)器人電機(jī)驅(qū)動和傳感報告
- 4.27 MB | 169次下載 | 免費(fèi)
- 3長虹液晶電視R-HS310B-5HF01的電源板電路原理圖
- 0.46 MB | 87次下載 | 5 積分
- 4U盤一鍵制作
- 23.84 MB | 41次下載 | 免費(fèi)
- 5AO4803A雙P通道增強(qiáng)型場效應(yīng)晶體管的數(shù)據(jù)手冊
- 0.11 MB | 28次下載 | 2 積分
- 6Altium Designer元件庫
- 17.11 MB | 23次下載 | 免費(fèi)
- 7長虹液晶彩電LS29機(jī)芯的技術(shù)資料說明
- 3.42 MB | 16次下載 | 2 積分
- 8TP4055 500mA線性鋰離子電池充電器中文手冊
- 0.75 MB | 9次下載 | 免費(fèi)
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935127次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關(guān)降壓/升壓雙向直流/直流轉(zhuǎn)換器 PCB layout 設(shè)計(jì)
- 1.48MB | 420064次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233089次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費(fèi)下載
- 340992 | 191382次下載 | 10 積分
- 5十天學(xué)會AVR單片機(jī)與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183342次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81586次下載 | 10 積分
- 7Keil工具M(jìn)DK-Arm免費(fèi)下載
- 0.02 MB | 73814次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65988次下載 | 10 積分
工商網(wǎng)監(jiān)
評論