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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>光刻機劑量控制器結構與深紫外準分子激光實時曝光劑量控制算法研究

      光刻機劑量控制器結構與深紫外準分子激光實時曝光劑量控制算法研究

      2017-09-30 | rar | 1 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　光刻機掃描曝光模型

      　　掃描曝光過程的抽象模型如圖 1 所示 。激光器發(fā)出的脈沖光束經(jīng)過光路傳輸系統(tǒng)， 從開口大小可調的狹縫中投影到工件臺上， 形成投影光斑 。當曝光場前沿與光斑前沿重合時 ，掃描開始;此后曝光場勻速經(jīng)過投影光斑;當曝光場后沿與光斑后沿重合時 ，掃描結束 。

      　　光刻機劑量控制器結構與深紫外準分子激光實時曝光劑量控制算法研究

      　　光刻機劑量控制器結構

      　　掃描投影光刻機劑量控制系統(tǒng)如圖 2 所示 ，從準分子激光器發(fā)出的脈沖激光， 先經(jīng)過底端照明光路（包括光束擴充鏡組、定位 定向鏡組、縮放 錐形鏡組等）和可變透過率衰減片， 到達能量傳感器， 再經(jīng)過頂端照明光路（包括光能量均勻棒 、掃描狹縫、照明鏡組等）、掩模版和投影物鏡， 最終投射到硅片表面。光路中安裝有一個能量傳感器， 測量每個激光脈沖的能量并結合實時調節(jié)算法， 計算出下一個單脈沖能量的設定值;最后通過能量 電壓轉換關系將能量設定值轉換成電壓設定值， 以達到控制激光器單脈沖能量并保證劑量精度的目的 。

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