中圖儀器測(cè)長儀SJ5160系列超高精度全自動(dòng)光柵測(cè)長機(jī)采用超高精度進(jìn)口長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進(jìn)行符合阿貝原理超高精度全自動(dòng)測(cè)量。自主研發(fā)智能全自動(dòng)測(cè)量功能，用戶操作體驗(yàn)感佳，而且儀器精度測(cè)量重復(fù)性30nm，測(cè)量重復(fù)性（2S）可達(dá)0.12μm以內(nèi)，外尺寸示值誤差為±（0.07+L/2000）μm。配置高性能超高進(jìn)度螺紋環(huán)規(guī)測(cè)量裝置，可測(cè)量小螺紋環(huán)規(guī)，同時(shí)可完成小的光滑環(huán)規(guī)檢測(cè)。其測(cè)量力為電子測(cè)力，軟件界面內(nèi)可自由設(shè)置，設(shè)置較小測(cè)力可用于超薄壁工件測(cè)量。
性能特點(diǎn)
高精度、高穩(wěn)定性
1)零膨脹超高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.001μm，測(cè)量精度高；
2)高精密特制研磨級(jí)直線導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌直線度高，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；
3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無變形測(cè)桿，保證測(cè)試數(shù)據(jù)的真實(shí)采集；
4)采用高精度穩(wěn)定的大理石基座，保證了在頭座及五軸工作臺(tái)的移動(dòng)過程中不會(huì)產(chǎn)生變形以及儀器不受外界震動(dòng)干擾，保證了儀器的穩(wěn)定可靠；
全自動(dòng)調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測(cè)力系統(tǒng)
1) 全自動(dòng)調(diào)節(jié)雙向高精度電子恒測(cè)力系統(tǒng)，采用特殊及雙向受力彈性結(jié)構(gòu)，測(cè)力恒定性好，減小了測(cè)力對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，全自動(dòng)伺服驅(qū)動(dòng)控制測(cè)力及光柵反饋測(cè)力位置，保證了高系統(tǒng)測(cè)量重復(fù)性精度；
2) 電子測(cè)力通過調(diào)節(jié)桿全自動(dòng)伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)控制連續(xù)可調(diào)；
電子測(cè)力傳感器原理避免了儀器臺(tái)面不水平及環(huán)境振動(dòng)引起的測(cè)力變化帶來的測(cè)量誤cha。
零測(cè)力修正系統(tǒng)
1) 準(zhǔn)確的電子測(cè)力技術(shù)，能準(zhǔn)確的讀取到當(dāng)前的；
2) 零測(cè)量力修正，根據(jù)被測(cè)件測(cè)量時(shí)的測(cè)針、測(cè)帽形狀及被測(cè)件尺寸進(jìn)行測(cè)力變形量修正。
環(huán)境條件
參考環(huán)境溫濕度：
溫度：20±0.5℃，波動(dòng)度不超過0.2℃/小時(shí)
相對(duì)濕度：20~60%
校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測(cè)量的灰塵、震動(dòng)、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場(chǎng)。
對(duì)于長度測(cè)量的精度低、穩(wěn)定性差、測(cè)量系統(tǒng)操作復(fù)雜、測(cè)量功能少、檢測(cè)過程復(fù)雜、數(shù)據(jù)不客觀等缺點(diǎn)和不足，SJ5160系列測(cè)長儀精度更高，其特點(diǎn)是穩(wěn)定性更強(qiáng)，及儀器的全自動(dòng)測(cè)量。
