SuperViewW1廣東3d光學輪廓儀器用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。是以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。
產品功能
1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
性能特色
1、高精度、高重復性
1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；
2）隔振系統能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得高測量重復性；
2、一體化操作的測量分析軟件
1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程；
4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；
6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4、雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險。
5、雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。
SuperViewW1廣東3d光學輪廓儀器的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而型號為SuperViewW1-Pro 的白光干涉儀相比 W1增大了測量范圍，可完全覆蓋8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設計，隔離地面震動與噪聲干擾。
部分參數
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性：0.1nm
表面形貌重復性：0.1nm
臺階測量:重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%
