制造企業逐步走在智能制造的路上，對產品質量的要求也逐步在提高。從IQC到FQC，OQC，產品的外觀尺寸缺陷等品質檢測也越發重要。這就不得不說白光干涉測量技術，將其應用到3D表面輪廓儀中，可進行納米級的測量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米的工件粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
SuperViewW1白光干涉儀特點
1、復合型掃描算法
結合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優點的復合型掃描重建算法，能夠適配從超
光滑到粗糙、光滑弧面等所有類型樣品；
2、雙重防撞保護
1）軟件ZSTOP防撞保護，設置后即以當前位置為位移下限位，不再下移且伴有報警聲；
2）Z向防撞傳感器，當鏡頭碰到樣件表面，鏡頭即回縮，進入緊急停止狀態，不再下移；
3、地面振動&聲波振動隔振防護
氣浮隔振設計&吸音材質隔離設計，確保儀器在嘈雜的車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾，正常工作；
4、環境噪聲評價
提供環境噪聲評價模塊，能夠定量檢測出當前環境噪聲對儀器的干擾，對儀器的調試和使用提供數據依據；
5、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
中圖儀器研發生產的光學3d輪廓儀檢測儀對產品進行高品質監控時不需要取下產品或停止生產，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。
產品參數
產品型號：SuperView W1系列
產品名稱：光學3D表面輪廓儀
影像系統：1024×1024
光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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