11月1日，MEMS與智能傳感器技術專場活動在鄭州國際會展中心成功召開。本次論壇邀請了眾多權威學者，他們針對智能傳感器行業發展存在的突出問題及薄弱環節，還有我國MEMS與智能傳感器技術的核心競爭力進行了深度探討。

會議現場照片

本次會議由中國科學技術協會、河南省人民政府作為主辦單位，中國儀器儀表學會、河南省工業和信息化廳、智能傳感器創新聯盟、智能微系統教育部重點實驗室、北京未來芯片技術高精尖創新中心、清華大學微米納米技術研究中心承辦，鄭州市工業和信息化局、鄭州高新技術產業開發區管理委員會、漢威科技集團股份有限公司協辦。

清華大學精儀系副系主任、研究員張高飛主持

加拿大工程院院士、加拿大西安大略大學機械工程、材料工程及生物醫學工程專業教授楊軍通過視頻致辭

河南省工業和信息化廳總經濟師毛鄭建致辭

中科院上海微系統所研究員，重點實驗室副主任·李鐵

中科院上海微系統所研究員，重點實驗室副主任李鐵作了《仿生生物微納傳感器》主題報告。他首先介紹了仿生生物微納傳感器的研究背景，并且以蜘蛛為例，講述了狹縫傳感器的研發經過，指出仿生感知技術進入微納、分子尺度階段，并且涉及到了仿生學、材料學、傳感器、微電子、計算機、人工智能、無線通信等學科技術領域。報告中主要介紹了仿生嗅覺傳感器的硅納米線材料，還分享了嗅覺生物敏感材料的選擇方法、仿生光探測器機理及檢測原理、石墨烯探測器的檢測方法，報告內容環環相扣，全面清晰。

國防科技大學，智能科學學院教授·肖定邦

國防科技大學，智能科學學院教授肖定邦先生作了《高性能微機電陀螺研究進展》主題報告。由于疫情原因，肖教授本人無法到場，但是他的線上分享也可謂是精彩絕倫，他先講述了國外高性能微機電陀螺的研究進展情況，接下來就是核心內容蜂巢式微機電陀螺研究內容，報告中分享了蜂巢式MEMS敏感結構的優勢、微半球諧振陀螺研究的結構創新設計和加工工藝創新，最后肖教授展示了微機電陀螺技術的發展趨勢圖，說明了微機電陀螺技術可能向環形、半環形發展的方向。

清華大學副教授·趙曉光

清華大學副教授趙曉光先生作了《基于超材料的微機電傳感器》主題報告。他先對超材料微機電的背景進行介紹，介紹中說到了超材料的單元結構設計及應用，他指出超材料對電磁場進場和光的調控，在醫學成像中的應用有實際意義，并且指出量子學的進展也啟發了超材料發展的進展。報告中還分享了超材料mems傳感器的工作原理，介紹了基于超材料的太赫茲探測器、基于雙層超表面的mem太赫茲調控器、單元結構獨立可調的超材料、基于連續區束縛態的超高Q值、基于非線性超材料的非線性隔離器、智慧型超材料、可變性超材料，在報告最后，他還說到，超材料是一個比較新的概念、超材料模糊了材料與器械的邊界，mems與超材料的結合支撐微系統及傳感器相關領域的創新發展。

東南大學教授，實驗室常務副主任·周再發

東南大學教授，實驗室常務副主任周再發先生作了《面向MEMS制造的薄膜材料和工藝參數在線測試技術》主題報告。他的報告主要從電學、熱學、力學三個方面介紹了薄膜材料和工藝參數的測試內容，并且介紹了薄膜材料和工藝參數在線測試的兩種方法，報告結尾詳細闡述了二氧化硅薄膜介電伸縮系統測試方法及壓力傳感器設計的應用，這些內容對實際生產及應用都有很重要，而現場針對周教授的講解也提出問題，周教授的回答給出了滿意的答復。

重慶大學教授·溫泉

重慶大學溫泉教授作了《微型集成掃描光柵微鏡發展與應用》主題報告。報告首先講述的是微光學器件的發展歷史及應用，簡單介紹了三種類型的光學器件，重點介紹了集成掃描光柵微鏡系統，通過國外案例介紹集成掃描光柵微鏡系統發展過程中存在的問題以及集成掃描光柵微鏡系統的階段性進展與成果，溫教授介紹到微型集成掃描光柵微鏡具有體積小、低耗能、低成本的優勢，報告最后介紹了潛在應用，主要分享了高光譜成像的應用，溫教授還總結說到微型集成掃描光柵微鏡是現代光譜分析檢測設備新形勢核心公共部件。

漢威科技集團傳感器研究院副院長·劉建鋼

漢威科技集團傳感器研究院副院長劉建鋼先生作了《傳感器列陣及智能傳感器發展與應用》主題報告。他指出傳感器的發展速度已經遠高于世界發展速度，詳細分析了當下傳感器的行業現狀，介紹了傳感器的分類方式及發展方向，指出智能最為熱點。報告中展示了漢威集團的智能氣體傳感器成果、智能光學傳感器成果及環境溫濕度成果，最后，劉副院長對漢威集團公司簡介、發展歷程進行了簡短的介紹。

此次會議的成功召開，首先有利于突破相關產業發展的技術瓶頸和體制約束，其次有利于提升我國MEMS與智能傳感器產業技術的核心競爭力，還有利于促進企業、高等院校和科研院所在戰略層面有效結合，進而促進學術界與企業界的深度合作，最后有利于推進基礎研究的成果轉化，建立并完善我國傳感器領域的創新體系。這次會議讓更多的企業家和研究人員在今后的道路上堅定了信心，認清了方向。

編輯：fqj