中圖儀器文章

• 精準制勝，WD4000無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)為高質(zhì)量晶圓生產(chǎn)保駕護航2024-03-05 08:09

  

  在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點，往往需要對wafer進行厚度（THK）、翹曲度（Warp）、膜厚、關(guān)鍵尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量測，以及缺陷檢測等；用于檢測每一步工藝后wafer加工參數(shù)是否達到設(shè)計標準，以及缺陷閾值下限，從而進行工藝控制與良率管理。半導體前道量檢測設(shè)備，要求精度高、效率高、重復性好，量檢測設(shè)備一般會涉及光電探測、精密機

  晶圓制造 檢測 測控 1077瀏覽量

• 數(shù)控測量|激光干涉儀80米直測，診斷校準運動導軌2024-03-04 13:36

  

  在現(xiàn)代工業(yè)制造中，運動導軌作為精密設(shè)備的關(guān)鍵組件之一，其精密度和穩(wěn)定性影響著設(shè)備的定位準確性和運動穩(wěn)定性。為了保證導軌的高精度性能，激光干涉儀應運而生。校準運動導軌的重要性運動導軌的精度直接關(guān)系到整個設(shè)備的性能。在長時間運行和極端工況下，導軌可能會受到溫度、振動等外部因素的影響，導致其性能逐漸偏離理想狀態(tài)。通過激光干涉儀的診斷校準，可以及時發(fā)現(xiàn)并糾正這些偏差

  干涉儀 激光 激光干涉儀 862瀏覽量

• 數(shù)控測量|激光干涉儀測量機床精度全面解析2024-03-04 13:35

  

  在機床加工領(lǐng)域，精度是評判機床質(zhì)量的重要指標之一。而激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點，在機床加工領(lǐng)域有著廣泛的應用。了解機床精度的重要性機床精度直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量和性能，它是制造業(yè)中至關(guān)重要的一個指標。在現(xiàn)代制造業(yè)中，隨著對產(chǎn)品精度要求的不斷提高，機床精度的重要性也

  機床加工 測量 激光干涉儀 1691瀏覽量

• “芯”動未來,無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)提升半導體競爭力2024-02-29 09:14

  

  無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)，適用于線切、研磨、拋光工藝后，進行wafer厚度（THK）、整體厚度變化（TTV）、翹曲度（Warp）、彎曲度（Bow）等相關(guān)幾何形貌數(shù)據(jù)測量，能夠提供Thickness map、LTV map、Top map、Bottom map等幾何形貌圖及系列參數(shù)，有效監(jiān)測wafer形貌分布變化，從而及時管控與調(diào)整生產(chǎn)設(shè)備的工藝參數(shù)，確保wafe

  半導體晶圓 晶圓 檢測 1290瀏覽量

• 閃測影像|影像儀激光掃描功能，無縫連接2D/3D混合測量2024-02-27 10:56

  

  在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域，影像儀用于質(zhì)量控制和產(chǎn)品檢測，是一個不可或缺的工具。它通過高精度的成像和圖像處理技術(shù)，可以及時發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品的缺陷和異常，以保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性。影像儀的重要性及其面臨的挑戰(zhàn)在工業(yè)生產(chǎn)方面，影像儀通過使用高清晰度的相機和精密的圖像處理軟件，可以準確地測量材料的尺寸和形狀，甚至可以檢測微小的缺陷和變形，把控產(chǎn)品質(zhì)量，幫助企業(yè)及時發(fā)現(xiàn)并解決

  3D影像 影像測量儀 測量 激光掃描 947瀏覽量

• 閃測影像|CHT影像儀滿足0.02㎜~4㎜的篩網(wǎng)檢測需求2024-02-26 13:41

  

  影像儀具有高精度、高效、全面數(shù)據(jù)分析和可視化展示的測量優(yōu)勢。可解決篩網(wǎng)檢測難題，提高工作效率和工作質(zhì)量，為篩網(wǎng)使用和管理提供科學依據(jù)，推動篩網(wǎng)行業(yè)發(fā)展。適用于對各種實驗篩網(wǎng)的檢驗測試，可檢測編織網(wǎng)和穿孔板，支持自定義公差表類型和檢測依據(jù)，自動計算尺寸和一鍵生成報告。

  影像測量 影像測量儀 檢測 731瀏覽量

• 閃測影像|中圖閃測儀，一鍵自動批量測量尺寸2024-02-26 13:40

  

  閃測儀可以快速完成尺寸測量，一鍵即可測量二維平面尺寸測量，或是搭載光學非接觸式測頭實現(xiàn)高度尺寸、平面度等參數(shù)的精密快速測量。不僅能夠大大提高測量效率，還能減少人為因素對測量結(jié)果的影響，保證測量的準確性和穩(wěn)定性。

  工業(yè) 影像測量儀 測量 904瀏覽量

• 三坐標測量儀的高精度測量功能與廣泛應用領(lǐng)域詳解2024-02-22 09:12

  

  三坐標測量儀作為一種高精度的測量設(shè)備，被廣泛應用于各種復雜零件的檢測和測量。它綜合了機械、光學、電子、計算機等多種技術(shù)，能夠準確測量物體的尺寸、形狀、位置和曲面特征等多個方面。具有廣泛的應用領(lǐng)域和重要的功能。

  三坐標測量 三坐標測量機 測量儀 3149瀏覽量

• 三坐標測量儀工作原理與優(yōu)點分析2024-02-22 09:10

  

  三坐標測量儀具有高精度測量、自動化程度高、靈活性強、可靠性高、可追溯性強、易于操作和維護以及適應未來發(fā)展需求等優(yōu)點。這些優(yōu)點使得三坐標測量儀在制造業(yè)中具有重要的地位和作用，可有效提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，促進制造業(yè)的數(shù)字化轉(zhuǎn)型和升級。

  三坐標測量 三坐標測量機 測量 測量儀 2640瀏覽量

• 臺階儀：亞埃級垂直分辨率，領(lǐng)跑新材料納米加工的測量利器！2024-02-19 13:49

  

  臺階儀具備亞埃級垂直分辨率，可實現(xiàn)納米級別測量和分析。在納米加工領(lǐng)域，臺階儀能評估材料表面形貌和結(jié)構(gòu)，優(yōu)化納米加工過程。其線性可變差動電容傳感器具有高分辨率，可測量蝕刻、濺射等多種工藝。臺階儀的應用不僅能解決納米材料表面形貌難題，還提高加工效率和材料工程研究水平。

  檢測儀 測量 1011瀏覽量