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中芯寧波廠200mm特種工藝N1產線正式投產

中國半導體論壇 ? 來源:未知 ? 作者:胡薇 ? 2018-11-07 10:30 ? 次閱讀

11月2日,中芯集成電路(寧波)有限公司歷經七個月的建設,200mm特種工藝(晶圓/芯片)N1產線將迎來正式投產的重要時刻,同時,中芯寧波N2項目、南大光電與安集微電子等三個項目也正式動工。

截至目前,芯港小鎮共有中芯寧波、恒碩科技、錦越新材料等19個項目落戶,涉及芯片制造、關鍵材料、設備、設計等4大類別,計劃投資超100億元,大都為國內細分領域排名第一或打破國外壟斷實現國產零突破的標桿項目。

這不僅是項目物理數量的加法,更是項目間互動構建起業態的乘法,材料生產、IC制造、封裝測試等產業生態相互銜接、襯托、拉動,將使產業產生驚人的“化學反應”。

“火車頭”引領強勢增長

近年來,北侖在新一輪集成電路發展大勢中迅速上位,得益于產業發展的龍頭引領效應。而龍頭項目的特點之一就是創新工藝拉升了產業高度。

在N1產線上,一塊塊晶圓經過多道工序精密加工,變成了一顆顆芯片,這些芯片都將應用在手機電腦等各種智能裝備領域中。

未來,中芯寧波將建成中國最大的模擬半導體特種工藝的研發、制造產業基地,采用專業化晶圓代工與定制產品代工相結合的新型商業模式,并提供相關產品設計服務平臺。

而這背后浸透了這兩年來中芯寧波在基礎工藝設計上的沉淀。去年初,中芯寧波完成對日銀IMP全套高壓模擬工藝及產品知識產權收購。

4個月后,2017年5月,依托中芯國際強大的科研實力,首款600V BCD高壓模擬工藝及產品5-8英寸轉換成功,良率達到99%,這也標志著高壓模擬芯片的國產化目標在寧波獲得成功,并實現與美的等系統廠商的戰略合作。

相比以往建設流程,這次中芯在產線引進上,同步引入了設計工藝,產業鏈更趨完整,兩年來,北侖招商團隊等部門和中芯寧波的默默付出和耕耘,正讓“中國模擬集成電路技術高地”加快形成。

項目集聚帶來“馬太效應”

領軍型戰略項目鑄就了北侖前半程的產業發展速度,今天,這種龍頭效應隨著南大光電、安集微電子等項目的開工,再次激發了北侖集成電路產業發展的新動能。

近年來,一邊是中芯寧波熱火朝天的建設熱潮,一邊是重大項目接踵而至的強勁勢頭,這也意味著“馬太效應”正在顯現——當以重大項目為引領的優勢逐漸顯現,各種要素資源必然更快地向產業高地匯聚。

寧波南大光電將在國內首次建立ArF光刻膠產品大規模生產線,形成年產25噸ArF(干式和浸沒式)光刻膠產品的生產能力,同時企業還將建立國內第一個專業用于ArF光刻膠產品開發的檢測評估平臺;

安集材料基地項目計劃年產高端微電子材料3500噸,致力于服務國內外領先的集成電路制造企業。另外芯港小鎮還有2個產業項目將在今年年底前開工建設,并在2018年底至2020年陸續建成投產,預計這5個項目年產值達100億元。

從制造到設計,北侖耦合產業矩陣,打造全新生態體系。今年上半年,累計7個芯片集成電路設計及軟件服務類項目先后落戶我區,同時,在談項目涉及材料、設備、封測等集成電路全產業鏈。

兩年里,北侖圍繞平臺,聚力發展集成電路設計產業、做強特種工藝集成電路產業、做精特色集成電路材料產業、做大集成電路制造業及封裝測試和配套產業,構建“設計—制造—集成—應用”較為完善的產業鏈。

隨著項目的落地,國內外集成電路專家紛至沓來。目前已吸引院士、博士級高端人才40余名。同時,已到崗的中芯寧波團隊人數超300人,成員都曾是英特爾英飛凌、霍尼韋爾、臺積電、中芯國際等著名企業的高級人才。

“店小二”式服務保證項目順利實施

從項目落地、資金到位、開工建設到基礎工程開始,中芯寧波書寫了集成電路產業的北侖速度、北侖質量。

今年5月,中芯寧波提出位于小港的N1產線的熱力管道還未鋪設,這也就意味著廠房建設完畢無法達到車間環境要求,無法進行動力中心調試。“企業對車間的要求堪比手術室,必須要有相關環境參數達到要求后才能開啟設備。”芯港小鎮建設管理中心相關負責人說。

芯港小鎮建設管理中心立即聯系了街道、開發區熱電等部門,經過多次協調,在原有的地下錯綜復雜的管線“夾縫”中設計出了唯一一條管線通道,并在一個月內實現開工建設,比一般流程縮短了一半以上的時間。

在連續生產過程中,集成電路企業要求電力運行平穩,有雙回路電路保證供電安全。芯港小鎮建設管理中心與區公建中心、供電局緊密配合,以建設專線、電力管網等多種方式,滿足企業需求。

而在企業外部,芯港小鎮規劃道路設計中單列了抗震要求,未來在施工過程中將加入特殊材料,保證運輸重型車輛不會對周邊集成電路企業產生影響,這也是全區少數單獨強化抗震強度的區域。

目前,芯港小鎮基礎設施建設項目共16個,其中在建及今年開工項目7個、前期項目3個、水電氣配套項目6個。“未來針對高端人才的需求,我們還將同步配套公寓樓、辦公設施,打造宜居宜業的人文環境。”該負責人說。

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