卓立漢光全新推出自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過智能化實(shí)時(shí)調(diào)焦技術(shù)，顯著提升樣品檢測的可靠性和效率，有效解決樣品表面不平整等導(dǎo)致的聚焦困難、信號采集不穩(wěn)定等問題，具備高穩(wěn)定、高分辨率、高速掃描等性能優(yōu)勢，可實(shí)現(xiàn)三維化學(xué)組分的信息檢測，其適用于材料科學(xué)、生物醫(yī)藥、半導(dǎo)體等領(lǐng)域的微區(qū)化學(xué)成分分析。

引言

拉曼光譜作為分子 “指紋” 識別技術(shù)，在微區(qū)化學(xué)成分分析中不可或缺，但傳統(tǒng)拉曼圖像掃描模式面臨多重挑戰(zhàn)：樣品厚度不均導(dǎo)致局部離焦、動態(tài)環(huán)境下聚焦漂移、粗糙表面信號采集穩(wěn)定性差等，嚴(yán)重限制了對復(fù)雜結(jié)構(gòu)樣品（如半導(dǎo)體晶圓、生物組織、藥物制劑）的精準(zhǔn)表征。

未解決這一難題，卓立漢光推出自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)，通過智能化聚焦控制與優(yōu)化光路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對樣品表面形貌的動態(tài)追蹤與實(shí)時(shí)校正，無需手動干預(yù)即可完成復(fù)雜樣品的高效、高保真檢測，為科研與工業(yè)領(lǐng)域提供了全新的拉曼化學(xué)成像解決方案。

性能優(yōu)勢

系統(tǒng)以 “實(shí)時(shí)聚焦 + 精準(zhǔn)檢測” 為核心設(shè)計(jì)理念，通過多模塊協(xié)同實(shí)現(xiàn)復(fù)雜樣品的高效表征：

三維成像能力：搭配激光共焦光路設(shè)計(jì)，采集樣品表面化學(xué)組分信息，通過三維數(shù)據(jù)構(gòu)造表面成分圖像。

高頻實(shí)時(shí)響應(yīng)：優(yōu)化光路與快速聚焦算法，響應(yīng)速度塊，可實(shí)百Hz高頻響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)真正意義上的焦平面實(shí)時(shí)追蹤；

亞微米級靈敏度：集成高靈敏度光學(xué)傳感器與模擬電路快速反饋模塊，壓電陶瓷驅(qū)動物鏡動態(tài)追蹤樣品表面，可實(shí)現(xiàn)亞微米尺度焦深變化識別，超越拉曼光譜分辨極限

強(qiáng)抗干擾能力：抗環(huán)境振動干擾設(shè)計(jì)，適合長時(shí)間連續(xù)掃描，具備高穩(wěn)定性。

低損傷檢測：激光連續(xù)可調(diào)功率，有效避免樣品光損傷，適合生物活細(xì)胞、有機(jī)材料等敏感體系

高空間分辨率：搭配高數(shù)值孔徑物鏡與優(yōu)化的光路設(shè)計(jì)，空間分辨率低至0.5um，清晰解析微區(qū)化學(xué)分布差異。

可拓展性強(qiáng)：可升級相關(guān)配置，同步輸出表面形貌圖

典型應(yīng)用場景

材料科學(xué)：半導(dǎo)體晶圓缺陷分析、電池極片成分分布、薄膜材料層間界面表征、高分子聚合物相分離研究等。

生物醫(yī)藥：組織切片微區(qū)成分成像、活細(xì)胞代謝物動態(tài)監(jiān)測、蛋白質(zhì)構(gòu)象變化分析等。

制藥領(lǐng)域：藥片活性成分分布均勻性檢測、緩釋制劑包膜成分分析、中藥微丸多組分識別等。

考古與文博：陶瓷釉料分層成分鑒定、壁畫顏料微區(qū)分析、文物表面腐蝕產(chǎn)物表征等。

環(huán)境監(jiān)測：微塑料顆粒成分與形貌關(guān)聯(lián)分析、大氣顆粒物化學(xué)組成溯源等。

測試案例

WSe晶圓表面成分成像

采用 532nm 激光器對WSe 晶圓（檢測范圍 5.5×5cm）進(jìn)行分析，對同一片晶圓進(jìn)行非自動聚焦采集時(shí)，可以清晰看到樣品的離焦情況，拉曼光譜信號“山脊?fàn)睢狈植迹瑹o法反映真實(shí)成分分布。使用自動共聚焦技術(shù)檢測時(shí)，可使樣品表面始終處于精準(zhǔn)對焦?fàn)顟B(tài)，拉曼信號強(qiáng)度呈現(xiàn)均勻分布。此外，且捕捉到少量因局部成核、薄膜增厚導(dǎo)致的強(qiáng)信號點(diǎn)，為晶圓生長缺陷分析提供關(guān)鍵依據(jù)。

圖 WSe晶圓樣品，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

先進(jìn)陶瓷材料

先進(jìn)陶瓷（又稱高性能陶瓷或工程陶瓷）是一類具有優(yōu)異力學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)或化學(xué)性能的無機(jī)非金屬材料，廣泛應(yīng)用于高科技和工業(yè)領(lǐng)域。采用532nm激光器檢測先進(jìn)陶瓷材料，檢測范圍50x50um，其形貌高度變化約為40um。采用非自動聚集技術(shù)對陶瓷表面進(jìn)行拉曼成像時(shí)，僅部分樣品區(qū)域能保持清晰對焦，可以清晰看到樣品的離焦情況。下圖（使用自動共聚焦技術(shù)），可使樣品表面始終處于精準(zhǔn)對焦?fàn)顟B(tài)。

圖 先進(jìn)陶瓷材料，a（非自動聚焦）b（自動聚焦）的拉曼成像平面圖；c（非自動聚焦）d（自動聚焦）的拉曼成像剖面圖

結(jié)論

卓立漢光自動聚焦拉曼光譜系統(tǒng)憑借智能化實(shí)時(shí)調(diào)焦技術(shù)與優(yōu)化光路設(shè)計(jì)，有效克服了傳統(tǒng)拉曼光譜在復(fù)雜樣品檢測中的離焦、信號不穩(wěn)定等難題，實(shí)現(xiàn)了物質(zhì)化學(xué)成像分析，為材料科學(xué)、生物醫(yī)藥、制藥、考古以及環(huán)境監(jiān)測等諸多領(lǐng)域的微區(qū)成分精準(zhǔn)分析提供了切實(shí)可行的優(yōu)質(zhì)解決方案。

審核編輯 黃宇