實驗名稱：正弦加三角波復合相位調制雙零差干涉儀位移測量相關實驗

實驗目的：穩定性實驗中，測試雙零差干涉儀在測量鏡M2靜止時，進行長時間的測量時，環境參數變化引起的兩路干涉信號相位差的漂移情況。

測試設備：電壓放大器、He?Ne激光器、測量鏡、干涉儀、信號發生器等。

圖1：雙零差干涉儀位移測量系統實驗裝置

實驗過程：

雙零差干涉儀位移測量系統實驗裝置如圖1所示。調好光路后，測量鏡M2靜止不動，EOM采用線性相位調制，調制信號由信號發生器產生，鋸齒波頻率設置為500Hz，幅值起初設置為7.5V左右，再通過微調幅值使得干涉信號是一個完整的余弦信號。一直測量PD1和PD2檢測到的干涉信號相位差，并長時間記錄相位差的變化情況。實驗時要確保實驗環境的穩定，減少其他因素的干擾，因此實驗在夜晚進行，實驗結果如圖2所示。

實驗結果：

圖2：小時相位差穩定性測試實驗結果

從圖2中可以看出：在6個小時內相位差變化約為80o，每分鐘約變化0.2o，對于位移測量實驗，一般測量速度為毫米級每秒，實驗全程能夠在幾分鐘內完成。因此在環境較好的情況下，在一次位移測量過程中相位差漂移較小。

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審核編輯 黃宇