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Fluke 961A溫濕度記錄儀在微電子實驗室中的應用

福祿克公司 ? 來源:福祿克公司 ? 2025-02-26 15:16 ? 次閱讀
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客戶背景

微電子實驗室是致力于各類半導體芯片研究的重要科研機構。對于高端芯片的研發而言,實驗室內部的環境溫濕度條件至關重要,因此該實驗室對環境溫濕度的控制與監測提出了極為嚴格的要求。

實驗室溫濕度控制要求

在實驗室里,各類實驗設備與樣本對溫濕度條件極為敏感。例如,高精度光刻設備要求溫度波動范圍控制在±1℃,濕度保持在40% - 60%RH,以確保光刻精度不受溫濕度變化的干擾;對于一些特殊的半導體材料樣本,適宜的溫濕度范圍能防止材料特性發生改變,保障實驗數據的準確性和可重復性。而且,長時間處于不適宜的溫濕度環境中,實驗設備的電子元件可能會因受潮或溫度過高而出現性能下降、壽命縮短等問題。因此,實驗室需要一款高精度的溫濕度監測產品,保證環境溫濕度保持在適宜的范圍內。

應用實施過程

在引入Fluke 961溫濕度記錄儀時,實驗室團隊首先對實驗室的布局和溫濕度監測需求進行了詳細規劃。根據實驗室的功能分區和設備分布情況,在各個關鍵區域安裝了溫濕度傳感器,包括實驗操作區、設備存放區、樣本儲存區等,確保全面覆蓋溫濕度敏感區域。

產品優勢

Fluke 961A可以通過USB接口直接導出PDF報告文件這一功能,極大地提高了數據整理和報告生成的效率。以往繁瑣的數據記錄和報告編寫工作,現在只需簡單操作即可快速完成,為科研人員節省了大量時間和精力。

此外,961A的32000組的超大存儲功能也滿足了實驗室長時間連續監測的需求,能夠可靠地保存大量的溫濕度數據,無需手動抄錄,保證數據完整連貫,為后續的數據分析和研究提供了堅實的數據基礎。

F961A溫濕度記錄儀以其便利、快速、準確的特點,為微電子研究所實時分析和掌握實驗室環境溫濕度提供了有效的數據支持,確保了高端芯片研發工作在穩定的環境條件下順利進行。

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原文標題:Fluke 961A 溫濕度記錄儀在微電子實驗室中的應用

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