該工藝平臺專注于壓電MEMS領域新器件的研發和量產服務,平臺設備選型滿足6英寸全自動化晶圓量產需求。積極布局先進微電子器件、聲電器件、MEMS器件、RF前端器件等領域,以滿足電子信息、物聯網、小基站、北斗等技術發展對于微納加工的需求,現已建成集先進工藝開發、器件工藝制備及定制化產品開發量產為一體的綜合性平臺,實現了新材料從微米到納米級別的結構與器件的可控開發、加工與測試,可為客戶提供個性化的工藝技術服務及器件解決方案。
MEMS超聲換能器PMUT代工服務
光刻代工服務-步進式光刻機
光刻代工服務-接觸式光刻機
勻膠顯影代工服務
晶圓CMP機械化學平坦化代工服務
氮化鋁AlN磁控濺射代工服務
摻鈧氮化鋁AlScN磁控濺射代工服務
金屬Mo磁控濺射代工服務
金屬蒸發代工服務
PECVD二氧化硅及氮化硅沉積代工服務
金屬等離子體刻蝕RIE代工服務
硅及氧化硅等離子體刻蝕RIE代工服務
薄膜厚度修整代工服務
濕法清洗及腐蝕代工服務
晶圓植球代工服務
熱壓超聲倒裝代工服務
晶圓劃片代工服務
測試編帶代工服務
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更多信息,請訪問宙訊微電子官方網站:www.quantgrav.com
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