激光干涉測量技術具有靈敏度高、量程大及可適應惡劣環境等優點，光波可以直接對米進行定義且容易溯源。

中圖儀器自研的PLR3000系列光纖激光干涉尺基于激光干涉測量原理，是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進位置檢測設備，在非接觸高精度測量領域具有其它測量方法無可比擬的優勢，相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，同時具有安裝快捷，易于準直等特點，在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

光纖激光干涉尺由激光發射裝置、干涉測量探頭、反射鏡等部分組成。

1.激光發射裝置

激光發射裝置內置高穩定度氦氖激光光源，穩頻精度0.05ppm（可選0.02ppm）。通過鎧裝光纖將激光傳導至干涉測量探頭，實現熱源與測量探頭隔離。激光發射裝置內置高精度信號處理系統，可直接輸出用戶可配置分辨率的實時RS422數字正交信號和正交模擬信號，還可通過USB-SDK進行二次開發。

2.干涉測量探頭

2.1差分干涉（DI）探頭

差分干涉探頭輸出兩束激光（參考光和測量光），分別經過固定平面反射鏡和移動平面反射鏡反射，實現光學四倍頻，具有更高的系統分辨率和更小的非線性誤差。尤其適用于測量Z軸立柱與運動平臺之間的相對運動，消除因內壁熱漂移和立柱振動/移動而產生的誤差，是納米級精度方案首選。

2.2平面鏡干涉（PI）探頭

平面鏡干涉探頭采用雙光程干涉系統，配合平面反射鏡，實現光學四倍頻，具有更高的系統分辨率，使用雙軸系統，搭配長條平面反射鏡，特別適合XY平臺運動控制及測量應用。提供0°、90°兩種出光配置。

2.3角錐棱鏡干涉（RI）探頭

角錐棱鏡干涉探頭，安裝方便，精度高，適用于單軸線性測量或位置反饋，測量距離達10米，可定制40米，在運動定位和設備校準上應用廣泛。提供0°、90°兩種出光配置。

光纖激光干涉尺技術特色

光纖激光干涉尺應用驗證

PLR3000系列光纖激光干涉尺已在多個客戶端進行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進行閉環控制，在10mm行程內任意位置實現納米級位置控制精度。