5月12日，皖江經濟帶核心城市合肥的邊界上，御微首臺掩模基板缺陷檢測產品Halo-100正式裝車，準備運輸交付給國內頂尖掩模工廠。

據御微半導體官方公告，這臺被譽為“掩模全周期質量控制“的Halo-100設備，是該公司產品線的第二款力作。

它利用了高精度光學系統、穩定運動臺系統及高潔凈度環控與傳輸系統，結合御微獨家算法和軟件系統，成功滿足了對掩模基板（blank）缺陷檢測的需求，同時也將掩模檢測的應用范圍擴展到了掩模廠來料檢驗和掩模基板廠全流程控制檢查。

據悉，Halo-100設備可廣泛應用于掩模基板廠的玻璃基板來料檢驗、多層鍍膜過程檢驗和成品出貨檢驗等環節，幫助客戶在每一個生產階段都能實時監控潔凈度狀況。