2023年4月,江蘇金宏氣體股份有限公司在無(wú)錫華潤(rùn)上華科技有限公司取得電子大宗載氣項(xiàng)目,向該公司晶圓生產(chǎn)線(xiàn)提供安全可靠的氣體服務(wù)。
此次中標(biāo)被視為氣體領(lǐng)域重大突破,標(biāo)志著成熟晶圓產(chǎn)線(xiàn)電子大宗載氣存量業(yè)務(wù)的替換成為可能,從而開(kāi)拓金宏電子大宗載氣業(yè)務(wù)新的增長(zhǎng)點(diǎn)。
金宏氣體已與北方集成電路、廣東芯粵能、廈門(mén)天馬等8家企業(yè)簽訂電子大宗載氣合作協(xié)議,總金額逾40億人民幣。電子大宗載氣主要包含氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃狻⒑狻⒍趸嫉龋瑥V泛應(yīng)用于晶體生長(zhǎng)、蝕刻、淀集、平衡及外延等制造環(huán)節(jié),對(duì)芯片良率和生產(chǎn)線(xiàn)穩(wěn)定性具有重要影響。
盡管電子大宗載氣與電子特種氣體均屬于電子氣體范疇,但兩者在產(chǎn)品純度、供氣方式、服務(wù)周期等方面仍有顯著區(qū)別。
相較之下,電子大宗載氣的純度要求更高,需達(dá)至9N純(99.9999999%),堪稱(chēng)“超高純氣體”;供氣方式則以現(xiàn)場(chǎng)制氣為主,而電子特種氣體則常采用容器包裝運(yùn)輸;此外,電子大宗載氣的合約周期相對(duì)較長(zhǎng),有助于企業(yè)獲取長(zhǎng)期穩(wěn)定的現(xiàn)金流,構(gòu)建穩(wěn)健的營(yíng)收基礎(chǔ)。
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