中圖共聚焦顯微鏡大傾角超清納米測量應(yīng)用場景案例

共聚焦顯微鏡可以在非常小的區(qū)域內(nèi)進行高分辨率成像，用途廣泛。特別在材料科學(xué)研究中，適合用于觀察材料的表面形貌結(jié)構(gòu)。

中圖共聚焦顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，廣泛用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測中，對大傾角的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度情況下使用場景更具有兼容性。

中圖共聚焦顯微鏡對半導(dǎo)體材料表面進行微納米級測量，大傾角超清納米測量，最大可測角度70°，這種高精度的測量技術(shù)可以幫助研究人員和工程師更好地了解材料的表面形貌，從而優(yōu)化制造工藝；對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。這對于實現(xiàn)器件表面形貌3D測量非常關(guān)鍵，有助于發(fā)現(xiàn)和解決制造過程中的問題，提高半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。

中圖共聚焦顯微鏡大傾角超清納米測量，能夠觀察材料表面和內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)，在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等領(lǐng)域中，共聚焦顯微鏡能夠?qū)γ嫘屋喞⒈砻嫒毕荨⒛p情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行高精度的測量和分析。

應(yīng)用場景