車載、工業電子零件要求的條件一年比一年嚴格，在這樣的情況下，能高精度測量絕對壓力、表壓、壓差的壓阻式壓力傳感器非常適合這些領域的廣泛應用。壓力傳感器的核心部件稱作管芯(die)，它是將壓力轉化為電氣輸出的傳感元件。

目錄

壓阻式壓力傳感

C43 / C44產品系列的說明

C43 / C44管芯的主要特點
- 1. 加壓界限提高
- 2. 長期穩定性
- 3. 通過現有傳感器封裝進行升級

MEMS管芯C44的特殊功能

產品概要

應用示例
- 1. 車載應用
- 2. 工業應用

咨詢

壓阻式壓力傳感

TDK提供一系列高精度壓阻式壓力傳感MEMS管芯，有各種壓力范圍和尺寸。
TDK管芯的特點是靈敏度高、設計靈活，重點放在了提高介質耐性，易于處理，整個產品壽命期間的高可靠性和穩定的信號輸出上。

圖1 壓阻式壓力傳感

絕對壓力

表壓			壓差

C43 / C44產品系列的說明

壓力傳感器管芯C43和C44能夠測量表壓[C43、C44]、正面[C43]、背面[C44]的絕對壓力。C43 / C44產品系列是進一步提高了廣受好評的"C32"管芯系列的功能后得到的新系列產品。
測量壓力范圍為0 … 10 bar～0 … 40 bar，溫度范圍為-40 °C～+150 °C。特別是，通過C44的背面受壓方式測定絕對壓力時，液體、氣體等介質的壓力施加在管芯的背面，所以可以完全防止這些介質與上表面的電子電路構成面的接觸。

圖2 C43 / C44系列的說明

產品概要

壓力傳感器元件 – 壓力測量方法

C43 / C44管芯的主要特點

1. 加壓界限提高

C43 / C44系列的加壓界限大幅提高，最大150 bar，有力地擴充了TDK面向高壓應用的壓力傳感器管芯的產品系列。
這種加壓界限的顯著上升是通過增加玻璃基座的陽極結合面積，減少空腔的體積實現的。

圖3 加壓界限提高

2. 長期穩定性

信號輸出的精度在整個耐用期間都在±0.1%以內（滿量程），長期穩定性非常好，這也是一大特點。
此外，為了限制對管芯性能的電磁、電化學影響，直接對MEMS的多層結構進行電氣密封。

圖4 長期穩定性

長期穩定性試驗的步驟：

關于上述試驗、"長期穩定性"的定義的詳細信息，請參考本公司網站的"AS標準100001"。

應用提示

壓力傳感器芯片長期穩定性測試AS100001

3. 通過現有傳感器封裝進行升級

對加壓界限需求更高的客戶，可以通過與現行的 C32 管芯系列相同的傳感器封裝使用 C43 與 C44 系列。
C43 與 C44 系列是廣受好評的 C32 系列的后繼產品（extension）。
焊盤的配置、高度和安裝面積與 C32 相同，但是加壓界限更高。

圖5 通過現有傳感器封裝進行升級

MEMS管芯 C44的特殊功能

圖6 MEMS管芯 C44的特殊功能

1	可焊接的背面金屬化絕對壓力傳感元件 ?為了使壓力傳感元件和傳感器封裝之間的焊接堅固，使管芯背面金屬化。 ?這樣，實現了優異的機械堅固性和耐介質性。
2	測定表壓 ?用于測定表壓的C44不使用玻璃底座，成本效率優異。 ?設計時采用525μm厚的硅 ，十分堅固。 ?小包裝 1.65 x 1.65 x 0.525mm3

產品概要

圖7 產品概要

應用示例

1. 車載應用

在汽車領域，傳感器被用于測量不同介質的壓力，對動力傳動系統的管理、安全系統提供支持。
對于以往的汽油內燃機汽車，為了提高燃油經濟性，需要使用傳感器對發動機進行精確的控制。另外，對于處理廢氣，削減有害氣體的排放，傳感器也是不可缺少的。另一方面，在電動汽車的電力驅動系統、氫燃料電池應用方面，也需要傳感器來協助管理蓄電池、燃料電池。
為了讓制動器、變速器、空氣懸架、供暖/通風/空調（heating, ventilating and air conditioning: HVAC）等各種車載組件也能有效發揮功能，精確監測各種介質的壓力是不可或缺的。
在含有液壓油等液體的系統中，局部壓力可能上升（稱為壓力峰值），這可能會損傷傳感器管芯。C43和C44系列具有較高的加壓界限，十分結實，在這些峰值壓力下運行也能充分承受壓力，降低管芯故障的風險。
為了滿足最新車載系統的嚴格要求，傳感器的長期穩定性、高精度的壓力檢測不可或缺。

2. 工業應用

在工業設備、系統中，壓力傳感器被用于水壓、空氣壓力驅動的機械、建筑HVAC系統、能源管理和水管理等中的控制和診斷。
它已經成為測定、控制技術不可或缺的重要組件。
與氣體填充系統相比，使用液體的應用需要更高的加壓界限。壓力峰值一般發生在泵、閥門、執行器的初始運行期間。
C43 / C44系列將在這些需要高加壓界限（脹裂壓力）的應用中發揮真正的價值。

審核編輯：彭菁