大家好，我是【廣州工控傳感★科技】7132A-0010加速度傳感器事業(yè)部，張工。

今天在介紹傳感器的具體校準(zhǔn)方法時(shí)，以典型傳感器7132A-0010加速度傳感器的校準(zhǔn)為例，詳細(xì)介紹幾種常用的校準(zhǔn)方法。

1、重力場法對(duì)于零頻響應(yīng)的加速度計(jì)，可以采用地靜重力場法進(jìn)行標(biāo)定，標(biāo)定裝置如圖所示。 地球引力場法也是一種高精度的絕對(duì)標(biāo)定方法。

待校準(zhǔn)的傳感器安裝在工作臺(tái)上，工作臺(tái)可以繞中心軸旋轉(zhuǎn)，7120A-0050傳感器的敏感軸也隨之旋轉(zhuǎn)。 當(dāng)傳感器轉(zhuǎn)動(dòng)到任何角度時(shí)。

使用該方法時(shí)應(yīng)注意： ①該方法原則上屬于靜態(tài)絕對(duì)校準(zhǔn)，僅適用于8711-01-080加速度計(jì)（如伺服式、壓阻式、應(yīng)變式、張力線等）的校準(zhǔn) 型）具有零頻率響應(yīng)。 ②設(shè)備必須有良好的隔振基礎(chǔ)，轉(zhuǎn)軸應(yīng)嚴(yán)格處于水平位置，否則會(huì)影響精度。

2. 轉(zhuǎn)臺(tái)重力場校準(zhǔn)方法 零頻校準(zhǔn)是一種靜態(tài)校準(zhǔn)。 對(duì)零頻校準(zhǔn)裝置進(jìn)行適當(dāng)改進(jìn)，即工作臺(tái)以一定頻率勻速旋轉(zhuǎn)，形成低頻重力場校準(zhǔn)臺(tái)。 當(dāng)工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，7130A-0050加速度傳感器的敏感元件受到-1~1g的交變加速度，可記錄8711-01-080加速度傳感器在不同頻率下的輸出值，并記錄其動(dòng)態(tài)靈敏度 可以獲得。 這種方法只適用于低頻。

3.比較法 比較法是傳感器校準(zhǔn)最常用的方法。 原理簡單，操作方便。

1）比較法的工作原理——兩個(gè)加速度傳感器背靠背安裝在一起（或安裝在剛性支架上），其中一個(gè)是參考標(biāo)準(zhǔn)加速度7130A-0050傳感器，其靈敏度和所有技術(shù)性能已知 ; 另一個(gè)是要校準(zhǔn)的7120A-0050傳感器，用同樣的加速度來激勵(lì)它們。 相同的原理適用于校準(zhǔn)速度傳感器和位移傳感器。

2）標(biāo)準(zhǔn)加速度計(jì)——在比較和校準(zhǔn)中，標(biāo)準(zhǔn)傳感器是最關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。 其質(zhì)量對(duì)校準(zhǔn)結(jié)果有非常重要的影響。 因此，需要對(duì)標(biāo)準(zhǔn)傳感器作出一定的要求或規(guī)定。 我國頒布了標(biāo)準(zhǔn)的壓電加速度計(jì)檢定規(guī)程。 從其在比較法中作為傳遞量值的振動(dòng)基準(zhǔn)的作用來看，應(yīng)滿足以下要求：

①靈敏度高，采用激光法或倒數(shù)法標(biāo)定，標(biāo)定精度優(yōu)于0.5%。

②靈敏度應(yīng)具有長期穩(wěn)定性，即在檢定期內(nèi)應(yīng)無明顯變化，應(yīng)高于校準(zhǔn)精度的1倍。

③橫向靈敏度比不大于3%，線性度更高。

④ 非振動(dòng)環(huán)境敏感度要低，如溫度響應(yīng)、磁敏感度、基底應(yīng)變敏感度、瞬態(tài)溫度敏感度要盡量低。

標(biāo)準(zhǔn)加速度計(jì) EGAXT-100/L5M 傳感器都是壓電的。 下圖顯示了兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)加速度計(jì)的輪廓。