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助力第三代半導(dǎo)體可靠性 | 廣電計(jì)量出席2022白石山第三代半導(dǎo)體峰會(huì)

廣電計(jì)量 ? 2022-08-11 15:57 ? 次閱讀

2022年8月6日,由保定市人民政府、河北省科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)、河北省發(fā)展和改革委員會(huì)、河北省工業(yè)和信息化廳、河北省科學(xué)技術(shù)廳、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟聯(lián)合主辦,保定國家高新區(qū)管委會(huì)、保定市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)、保定市發(fā)展和改革委員會(huì)、保定市工業(yè)和信息化局、保定市科學(xué)技術(shù)局、淶源縣人民政府承辦的2022白石山第三代半導(dǎo)體峰會(huì)在河北淶源順利召開。

中國科學(xué)院院士、中國科學(xué)院副院長、中國科學(xué)院大學(xué)黨委書記、校長李樹深,中國科學(xué)院院士、北京大學(xué)教授甘子釗,中國工程院院士、清華大學(xué)教授羅毅等院士專家;河北省政府黨組成員、副省長胡啟生領(lǐng)銜的省直部門及央企領(lǐng)導(dǎo);中國國電集團(tuán)公司原副總經(jīng)理、黨組成員張成杰, 國家新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展專家咨詢委員會(huì)委員、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟理事長吳玲,北京大學(xué)理學(xué)部副主任、寬禁帶半導(dǎo)體研究中心主任、CASA副理事長沈波, CASA副理事長兼秘書長、中科院半導(dǎo)體所原副所長楊富華,以及其他來自相關(guān)政府部門、科研院校、企業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)與技術(shù)專家通過線上、線下的方式參與了開幕式。

保定市委副書記、市政府市長閆繼紅主持峰會(huì)開幕式。廣電計(jì)量作為第三代半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域的重要參與者,受邀參與此次活動(dòng)并做主題演講。

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技術(shù)專家與嘉賓發(fā)言

白石山第三代半導(dǎo)體峰會(huì)始于2021年,是由保定市人民政府和第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟共同發(fā)起、在保定淶源打造的高端峰會(huì),為政府、專家學(xué)者、企業(yè)搭建了共商第三代半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用、投資以及發(fā)展相關(guān)問題的高層對(duì)話平臺(tái)。本次會(huì)議以“同‘芯’共贏”為主題,瞄準(zhǔn)國家重大戰(zhàn)略需求及產(chǎn)業(yè)鏈需求,結(jié)合推進(jìn)碳中和及發(fā)展新興產(chǎn)業(yè)的要求,探討第三代半導(dǎo)體技術(shù)與應(yīng)用。

廣電計(jì)量在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域構(gòu)筑了較為全面的檢測能力,具備豐富的檢測經(jīng)驗(yàn)。作為第三方檢測機(jī)構(gòu)代表,廣電計(jì)量元器件篩選與失效分析中心總監(jiān)、第三代半導(dǎo)體技術(shù)副總監(jiān)李汝冠博士向與會(huì)嘉賓做《第三代半導(dǎo)體功率器件檢測技術(shù)發(fā)展》報(bào)告,詳細(xì)闡述了Si基器件標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用于第三代半導(dǎo)體檢測情況以及第三代半導(dǎo)體器件檢測新需求。他指出,第三代半導(dǎo)體優(yōu)勢明顯、應(yīng)用廣泛,是半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的核心方向,如何應(yīng)用新的方式對(duì)第三代半導(dǎo)體進(jìn)行質(zhì)量及可靠性的評(píng)估與準(zhǔn)確測量,是未來第三方檢測行業(yè)的重要機(jī)遇和挑戰(zhàn)。

基于廣電計(jì)量豐富的第三代半導(dǎo)體器件檢測經(jīng)驗(yàn),李汝冠提出基于傳統(tǒng)半導(dǎo)體的檢測技術(shù)及檢測標(biāo)準(zhǔn)(如AEC-Q101)進(jìn)行直接應(yīng)用,以暴露第三代半導(dǎo)體器件的薄弱環(huán)節(jié);并依據(jù)第三代半導(dǎo)體的特殊性,引入針對(duì)第三代半導(dǎo)體器件的測試方法,如SiCMOS的柵極氧化層可靠性測試、偏壓溫度不穩(wěn)定性測試、體二極管雙極性退化測試、閾值電壓測試、GaNHEMT的動(dòng)態(tài)導(dǎo)通電阻測試等方法。同時(shí),針對(duì)第三代半導(dǎo)體器件的測試方法,需增加動(dòng)態(tài)應(yīng)力試驗(yàn),以觸發(fā)在遵循標(biāo)準(zhǔn)的靜態(tài)試驗(yàn)中觀察不到的失效機(jī)制,為第三代半導(dǎo)體企業(yè)的可靠性檢測提供了重要的思路建議。

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廣電計(jì)量技術(shù)專家做主題報(bào)告

北京大學(xué)東莞光電研究院院長、北大寬禁帶半導(dǎo)體研究中心原主任張國義,中國科學(xué)院半導(dǎo)體所黨委副書記、紀(jì)委書記樊志軍,中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所副所長張韻,國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新主任張魯川,國基北方總經(jīng)理、十三所常務(wù)副所長崔玉新,科技部火炬中心高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展處副處長陳彥等專家代表也參與了此次活動(dòng)。51萬余人次在線觀看了峰會(huì)直播。

第三代半導(dǎo)體在新基建七大領(lǐng)域都有其廣泛的應(yīng)用前景。黨中央、國務(wù)院高度重視第三代半導(dǎo)體發(fā)展,將其列入國家重點(diǎn)規(guī)劃和科技專項(xiàng)支持。而檢測是提高半導(dǎo)體器件質(zhì)量與可靠性的重要保障。廣電計(jì)量作為國有第三方檢測機(jī)構(gòu),在我國第三代半導(dǎo)體發(fā)展過程中,秉承國企擔(dān)當(dāng),在光電子、電力電子微波射頻等第三代半導(dǎo)體三大應(yīng)用領(lǐng)域構(gòu)筑了較為全面的檢測能力。

公司在第三代半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域(SiC、GaN)合作客戶20余家,檢測樣品數(shù)量百批次、數(shù)量數(shù)萬只。其中在光電子檢測領(lǐng)域合作客戶數(shù)十家,涉及型號(hào)近百個(gè);在電力電子領(lǐng)域,覆蓋了現(xiàn)行所有可靠性測試標(biāo)準(zhǔn),單在SiC領(lǐng)域合作客戶十余家,是國內(nèi)SiC檢測知名度廣、技術(shù)能力最全面的第三方檢測機(jī)構(gòu)之一;在微波射頻領(lǐng)域,助力完成國內(nèi)第一個(gè)車規(guī)標(biāo)準(zhǔn)的微波射頻的測試,并向更高頻率、更高功率領(lǐng)域布局。

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