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解決方案 | 應用于半導體設備上的熱門傳感器(一)

明治傳感 ? 2022-07-27 09:25 ? 次閱讀

半導體勻膠顯影機一般由動力系統、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成,適用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面顯影。

本期小明就來分享一下傳感器在勻膠顯影機中的作用~

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檢測水滴/膠滴

光纖傳感器 PG1+ PT-30ML

5d180fbe-0d39-11ed-9ade-dac502259ad0.png點擊圖片可獲取更多資料

選用區域對射光纖,覆蓋面積廣,即使水滴路徑有微小偏差依然在檢測區域內,可被穩定檢測

功率大,光軸清晰明亮,可輕松調整光軸位置

放大器搭載了超高速模式,微秒級響應時間,可穩定快速地進行檢測

SET按鍵調試,使用簡便輕松

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檢測晶片位置

激光傳感器 ELE-RM05N

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點擊圖片可獲取更多資料


晶圓傳送盒的顏色和形狀變化所產生的光量值偏差很小,需要選擇回歸反射型傳感器可進行穩定的測量,安裝反光板,減少了布線煩惱

光斑小,可將傳感器裝在外部,穿過孔洞對內部物料進行檢測,輕松實現識別晶片傾斜/缺料等位置不正的情況

激光的指向性佳,光斑小,便于安裝

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控制憎水液位

液位傳感器 CE30-26NO

5d93d374-0d39-11ed-9ade-dac502259ad0.png點擊圖片可獲取更多資料

當槽管內存在氣泡時,普通的光學傳感器很可能造成誤判

產品防護等級IP67,防水防塵

傳感器固定方式靈活,可任意輕松移動檢測位置

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匣盒載物臺的下限檢測

接近傳感器 ESL-T50NO

5ddec9d8-0d39-11ed-9ade-dac502259ad0.png點擊圖片可獲取更多資料

超薄尺寸,厚度僅有4mm,任意狹小空間均可安裝

采用對射檢測原理,穩定可靠

檢測距離達50cm,任意大小的設備場景均可使用

明治傳感器是一家專注于工業級光電傳感器和深度學習技術的創新企業,主要聚焦在高精度定位、深度學習、精密測量、以及避障安全方案,為3C電子、新能源、半導體制程、醫療電子和服務機器人行業提供精密智能和AI傳感技術

明治傳感器核心團隊匯聚了一批業界資深科學家和工程師,由扎根工業傳感領域20年的專家帶隊,擁有核心專利超過120項,超過20項發明專利。明治產品迭代速度快,每年在世界各地安裝的傳感器總數逾6,000,000只,在AI4.0時代用創新傳感技術向用戶提供精密智能和AI傳感的產品,助力全球用戶在工業4.0時代成為智慧工業和萬物互聯的行業領先者。

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