壓電（Piezo）

何謂壓電？

壓電表示壓電元件（PiezoelectricElement、Piezoelectric Device），壓電元件是指通過(guò)施加力（壓力）產(chǎn)生電壓（壓電效應(yīng)），或與之相反，通過(guò)施加電壓產(chǎn)生變形（逆壓電效應(yīng)）的元件。

壓電元件使用具有壓電效應(yīng)的壓電材料。施力時(shí)，（+）正離子、（-）負(fù)離子的位置會(huì)移動(dòng)，產(chǎn)生（+）和（-）電荷的偏移（電極化），從而產(chǎn)生電壓。

利用壓電效應(yīng)的主要用途是傳感器，利用逆壓電效應(yīng)的主要用途是執(zhí)行機(jī)構(gòu)。

壓電材料的種類

壓電材料大致分為單晶、陶瓷、薄膜等。

羅姆采用的是使用鋯鈦酸鉛（PZT）的薄膜壓電。
PTZ取自元素符號(hào)（PbZrxTi1-xO3）（0<1）的首字母，壓電性能非常強(qiáng)，稱得上是壓電元件的主角。<>

薄膜壓電和塊體壓電

大致將厚度約為幾μm的叫作薄膜壓電（壓電薄膜），幾十μm以上的叫作塊體壓電（厚膜壓電）。
利用薄膜壓電可以實(shí)現(xiàn)元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。

薄膜PZT的成膜方法

生成薄膜PZT的方法有溶膠凝膠法、濺射法、MOCVD法等。