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在半導體行業中工業靜電有哪些危害?

HyperBroli ? 來源:HyperBroli ? 作者:HyperBroli ? 2023-05-08 11:00 ? 次閱讀

眾所周知,靜電是無處不在,無時不刻都在發生的,上一秒消除下一秒它又產生,從生活中的靜電到工業靜電,皆是如此。而在眾多工業領域中,靜電對半導體生產制造過程產生的影響額外明顯,所以半導體行業對靜電的防護要求也比其他行業要高,那么靜電對其的危害具體體現在哪些方面呢?

一、MOS結構元器件,由靜電過高引起的介質擊穿,造成短路

二、半導體結構元器件,由過熱引起的微等離子區二次擊穿

三、膜電阻器結構元器件,由介質擊穿形成新的電流通路

四、金屬化條結構(IC),靜電造成與焦耳熱有關的開路

五、壓電晶體結構元器件,由靜電干擾引起機械壓力震蕩過大,造成晶體斷裂

wKgZomRYZeiAakQzAAJxGPOGiqw267.png

ESD智能實時監控系統,其中的靜電壓傳感器正是發現靜電的利器,多種sensor可選。


審核編輯黃宇

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