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基于幾何相位校正的柔性超聲收發(fā)器陣列的實現(xiàn)

MEMS ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2022-10-18 16:44 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢報道,近日,一支由美國哥倫比亞大學(Columbia University)和哥倫比亞大學醫(yī)學中心(Columbia University Medical Center)的研究人員組成的團隊在Scientific Reports期刊上發(fā)表了題為“Flexible ultrasound transceiver array for non-invasive surface-conformable imaging enabled by geometric phase correction”的最新論文,文中提出了一種機械柔性、無源和相控二維超聲收發(fā)器陣列——FlexArray,其利用幾何相位校正來補償彎曲物體成像時曲率半徑的變化,可在最小的電氣干擾下進行高對比度成像,本研究成果對可檢測骨骼結(jié)構(gòu)的無創(chuàng)、非電離生物醫(yī)學成像設(shè)備的開發(fā)具有重要意義。

圖1 FlexArray柔性超聲收發(fā)器陣列概覽

超聲診斷已成為醫(yī)療保健專業(yè)人員無創(chuàng)檢查軟組織的一種重要的成像方式,因為它沒有暴露于損傷細胞的電離輻射的相關(guān)風險。這種無創(chuàng)成像方法通常通過壓電超聲換能器的線性陣列來實現(xiàn),它將機械聲能轉(zhuǎn)換為電信號,反之亦然。大多數(shù)商用超聲換能器都安裝在剛性探頭中,并且具有固定接口,無法與人體三維表面貼合。因此,人們制定了許多臨床激勵措施,以開發(fā)柔性、人體適形的超聲探頭,其性能與用于生物醫(yī)學應(yīng)用的同時期的剛性接口陣列的頻率和分辨率性能相當。

二維相控陣具有在任意焦距的三維方向上操縱超聲波束的額外優(yōu)勢,可應(yīng)用于詳盡的局部成像。在眾多成像應(yīng)用中,超聲已被證實是一種可行的方式,可幫助診斷骨折并動態(tài)指導(dǎo)骨折復(fù)位——特別是在資源不足的環(huán)境中,作為X射線的替代方案非常有用。在檢查未成年人的骨折時,超聲的非電離特性尤其重要,因為需要避免不必要的X射線照射。在一項對224例兒童疑似骨折的研究中,86.6%的病例通過超聲正確識別。超聲還為識別長骨骨折(特別是肱骨)提供了最高的靈敏度,在233例個體中靈敏度高達98%。據(jù)統(tǒng)計,成年肱骨在中軸位置的直徑,男性為17到23mm,女性為14到20mm之間,可通過低于1MHz的超聲頻率輕松分辨。因此,柔性超聲相控陣的開發(fā)可為安全、快速、準確地檢測上肢骨折以及其他肌肉骨骼異常提供方便的解決方案;消除對操作員專業(yè)知識的依賴。用于這些和其他類似應(yīng)用的柔性超聲探頭必須在最小程度上彎曲,以貼合曲率半徑為?1.5cm的圓柱體,確保準確的圖像重建。

通常,開發(fā)柔性或可拉伸超聲收發(fā)器陣列涉及將超聲換能器元件直接集成到柔性互連襯底上。研究人員先前在這一領(lǐng)域所做的工作通常是將鋯鈦酸鉛(PZT-5H)或壓電復(fù)合材料的5H相塊體樣品集成到帶有信號和接地電極的聚合物襯底上。該領(lǐng)域的一個顯著進展是引入了一種可拉伸貼片,該貼片包含100個獨立的1-3型壓電復(fù)合元件,以二維陣列排列在可拉伸聚二甲基硅氧烷(PDMS)襯底上。研究人員還演示了一維環(huán)繞陣列,但它們通常需要8–128個超聲換能器元件一起工作。為了保持良好的超聲收發(fā)器陣列柔性,陣列元件之間的背襯/匹配層和/或縫隙填充材料通常需要被犧牲掉。這導(dǎo)致超聲收發(fā)器陣列對超聲波形的控制降低,但在這些新型柔性超聲收發(fā)器陣列的文獻中,研究人員還沒有全面定義與通常品質(zhì)因數(shù)相關(guān)的權(quán)衡。其中許多系統(tǒng)存在技術(shù)缺陷,例如元件之間的間距太寬,導(dǎo)致在指定的工作頻率下形成柵瓣,并且沒有考慮陣列曲率及其對相位干擾的影響;由于在最終圖像中引入了誤差和偽影,最終導(dǎo)致成像系統(tǒng)性能的降低。

在本論文中,作者們提出了一種機械柔性、無源和相控二維超聲收發(fā)器陣列——FlexArray,包含直接集成到柔性印刷電路板(PCB)上的256個壓電式超聲換能器,它利用幾何相位校正來補償彎曲物體成像時曲率半徑的變化。他們介紹了提出的柔性超聲收發(fā)器陣列的制造過程和功能,并討論了用于圖像校正的相位算法。利用COMSOL Multiphysics仿真,他們通過比較不同的縫隙填充材料,解決了實現(xiàn)良好陣列柔性的器件設(shè)計考慮因素,以及制造簡易性和/或超聲性能的潛在成本。在有相位校正和沒有相位校正的兩種情況下,他們演示了適形柔性超聲收發(fā)器陣列在各種形狀的體模軟物質(zhì)上的成像性能。在?1.4 MHz的諧振驅(qū)動頻率下,F(xiàn)lexArray展示了可控波束轉(zhuǎn)向功能和在焦點處》?500kPa的聲壓。壓電超聲換能器元件具有很寬的帶寬(41.3%),使其成為連接和詢問生物組織的良好的候選者。相鄰超聲換能器元件之間的串擾適當?shù)停▽Φ谝幌噜徳?52dB,對第二相鄰元件??74dB),使其可在最小的電氣干擾下進行高對比度成像。最后,他們使用一個原型器件對人類上臂的橫截面進行成像實驗,展示了這種設(shè)計范式在開發(fā)可檢測骨骼結(jié)構(gòu)的無創(chuàng)、非電離生物醫(yī)學成像設(shè)備方面的能力。

圖2 FlexArray的PZT柱制造和超聲性能基準

圖3 相鄰超聲換能器元件之間的串擾表征和醫(yī)學級體模成像

圖4 使用FlexArray的人體肱骨成像實驗

審核編輯:郭婷

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原文標題:基于幾何相位校正的柔性超聲收發(fā)器陣列,可實現(xiàn)無創(chuàng)表面適形成像

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