相信大家都有所了解，半導體制造廠商對供電有著極高的要求，特別是對于電力供應品質要求更高的晶圓相關產業，一旦發生電壓瞬降，不僅對敏感的微電腦自動控制設備造成不可預期的傷害，也會使制程中斷，而產生極大的損失。為了能保護敏感的設備能夠免于電壓瞬降的危害，SEMI F47標準規定了半導體制程設備對電壓瞬降的耐受等級，要求對通常發生在交流電網中的電壓驟降具有“免疫力”。

Q:何謂SEMIF47電壓瞬降測試？

電壓瞬降通常是指負載端電壓值降到額定電壓值的90%以下，并持續0.5~60個周期，而SEMI F47是半導體制程設備電壓暫降抗擾度規范。在SEMI F47-0706中，以50Hz為例，電壓為50%標稱值時為10周、電壓為70%標稱值時為25周、電壓為80%標稱值時為50周。一些晶圓廠會要求更高等級的耐受，相較F47-0200增加電壓瞬降的耐受時間或強度，在電壓為0%標稱值時為1周，電壓為80%標稱值時為500周。

艾德克斯始終致力于提供以功率電子為核心的全方位專業測試測量解決方案，全新一代交流電源產品系列IT7800系列大功率可編程電源、IT7900/IT7900P系列回饋式電網模擬器擁有強大的任意波形編輯功能，除了內置的IEC61000-4-11/4-13/4-14/4-28等法規波形外，還可以模擬諧波/間諧波及各種復雜的電網擾動波形，是測試和實驗室的理想選擇。

測試需求

SEMI F47法規測試

三相輸出，其中一相1個周期50Hz(20ms)的瞬降(0V)

通常大家可能會想到用List功能來編輯此波形，這是可以的，然而對于非整數周期，像是60Hz（16.7ms），計算每個單步的持續時間就相對復雜。此時我們可以考慮用突波/陷波功能來輕松實現。

IT7800/IT7900/IT7900P系列可編程交流電源提供突波/陷波的模擬功能，用戶可以根據需求在輸出的波形基礎上加上突波/陷波來模擬電路系統中電壓的異常波動，而且突波/陷波可以疊加在任意基礎波形上，設置如下：

實測波形如下：

可以看到A相跌落到0，持續時間1個周期，每5個周期出現一次。

IT7800大功率可編程交流電源、IT7900/P回饋式電網模擬器在3U的有限空間里面，提供了高達15kVA的功率輸出。單個機柜功率最大可達165kVA，最多可擴展至960kVA。同時相電壓輸出達350V，具有AC/DC/AC+DC/DC+AC四種輸出模式，單相，三相及反相等靈活輸出能力。適用于新能源、軌道交通、半導體及科研院校等多個領域的研發、生產、質檢階段。

IT7900電網模擬器還具有孤島保護測試功能，可用于并網逆變器、儲能PCS測試；IT7900P除了可以作為電網模擬器和全四象限功率放大器使用，同時也是一臺回饋式的交/直流電子負載。

審核編輯：劉清