在政策、物聯網及人工智能技術的推動下，半導體設備市場在過去十年呈現顯著增長。

越是精密的行業，越是差之毫厘失之千里，半導體制造需要嚴格、精密的參數控制以確保它的穩定與可靠。

TE Connectivity（以下簡稱“TE”）為半導體設備應用提供定制傳感器解決方案，可以針對客戶的實際需求和半導體設備對于精密度和復雜度的需求，提供定制的、用于半導體設備的傳感器，從前道工藝、后道工藝到單晶硅片制造精準把關。

以下是部分可供定制產品及其應用領域，如您有任何定制需求，歡迎點擊“閱讀原文”進行咨詢。

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TE傳感器在半導體設備的應用

超高純度（UHP）氣體面板

超高純度（UHP）氣體面板專門用于微電子、半導體和光伏組件生產。這些應用均需要更高的標準，以確保所輸送的氣體或流體純度。半導體制造尤甚，因為過程中會產生和使用數百種氣體和混合物，這對壓力的檢測標準要求很高。

這就需要質量流量控制器（MFC）來精密把關，而壓力傳感器就是MFC的感知關鍵。

85系列定制型壓力傳感器

提升MFC特種氣體質量控制精度，使晶圓生產工藝可控。

產品優勢：

- 小尺寸

- 316L SS，0-100mV輸出

- 提供表壓和絕壓以及溫度補償

超高純度（UHP）定制型壓力傳感器

可檢測每個氣柜壓力、管道壓力，及混合器出口壓力。

產品優勢：

- 316L 哈氏合金，具有良好的抗腐蝕性和熱穩定性

- 電氣拋光，不會污染破壞生產環境

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TE傳感器在半導體設備的應用

化學罐液位檢測

在化學氣相沉積過程中，精確而可靠地測量液位對半導體晶片制造過程而言非常重要。TE的定制液位檢測傳感器，可提供單個或多個具有很高精度的離散點液位，是化學液體液位檢測的優秀解決方案。

定制液位檢測傳感器

緊湊可靠，不受液位影響的超聲波液位檢測傳感器。

產品優勢：

- 316L不銹鋼，帶電拋光

- 超聲波液位檢測，無移動部件

- 定制用于高精度的單點、多點液位檢測

- 可用于高達250PSIG（1724kPa）的高壓容器應用

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TE傳感器的半導體設備應用

晶圓制程溫度探針

可應用于半導體制造的不同工藝，和熔爐中，例如擴散爐（垂直/水平爐）、熱加工、化學氣相沉積法（CVD / LPCVD）。

定制晶圓溫度探頭

具多個溫度監測點的溫度探頭。

產品優勢：

- 提供晶圓溫度空間分布

- 驗證晶圓溫度控制以進行冷注入

原文標題：精細、嚴謹的半導體制程，有了這些傳感器更得力

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責任編輯：haq