如何操作{射頻探針臺}TS3000-SE
一、準備本次測試的DUT和相應的探針與電纜，將相應的探針擺放完畢，佩戴相應的手套、防靜電手環等。
二、確認打開壓縮空氣、真空、電源等廠務后，按下白色電源鍵開機。待主機啟動完畢后預熱1-2分鐘，按下藍色的reset按鈕。
三、打開軟件進入操作界面。
四、初始化：選擇一種模式做初始化。
五、打開探針臺屏蔽室的艙門，放wafer：把wafer放在chuck上，然后點擊真空開關或點“start”按鈕自動選擇吸附wafer的尺寸。
六、設置扎針高度（contact值）: 操縱面板上長按ENABLE Z-AXIS 然后按Z-up把chuck升到一定高度(做這個動作之前建議把探針調到最高防止撞針)。然后調節camera的Z軸和適應自己的顯微鏡倍率把圖像調節清晰（如果是電動顯微鏡支架，請在機臺面板上選擇顯微鏡后再調節Z軸高低）。
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