（文章來(lái)源：iVacuum）

抽氣速率一詞在我國(guó)已經(jīng)沿用了幾十年，嚴(yán)格地說(shuō)，它不規(guī)范、不確切。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中早已稱為體積流率，但我國(guó)的GB/T3163真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)中，前后存在矛盾。在一般術(shù)語(yǔ)中已有“體積流率”的定義，但在真空泵及有關(guān)術(shù)語(yǔ)中，又有“真空泵的抽氣速率(體積流率)”定義，雖然英譯名已為volume flow rate of a vacuum pump，但中文仍稱作抽氣速率(體積流率)，這是不嚴(yán)肅的，而且在幾乎所有產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)中都仍采用抽氣速率，應(yīng)盡快改正為體積流率。

體積流率的定義為：按規(guī)定條件工作時(shí)，從標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩流過(guò)的氣體流量與在測(cè)試罩指定位置測(cè)得的平衡壓力之比。

在GB/T19956.1—2005的附錄A中給出的滴管流量計(jì)中，滴管直徑(mm)為1.5、3、5、10、20、…….、200；而DIN28427—1983中規(guī)定：滴管內(nèi)徑不得小于12mm，為什么有這樣的規(guī)定？對(duì)此我們做了不同直徑滴管測(cè)量“體積流率”的對(duì)比，如表1所示。

從對(duì)比數(shù)據(jù)中可以看出，滴管內(nèi)徑1.5mm與5mm相比較，二者所測(cè)得的體積流率偏差最大達(dá)16%以上。而5mm滴管與15mm滴管相比較，則偏差不大。因此1.5mm和3mm二種孔徑的滴管不應(yīng)再使用，5mm孔徑的滴管雖然偏差較小，也不建議使用。小直徑滴管產(chǎn)生偏差的原因是流動(dòng)阻力大，口徑越小、流速越大，流動(dòng)阻力越大。

當(dāng)年，我們?yōu)榱藬U(kuò)大滴管的量程，曾嘗試用汞取代變壓器油作滴管流量計(jì)的工作液，結(jié)果出現(xiàn)了更大的偏差。究其原因，是汞的內(nèi)聚力太強(qiáng)了，它是一種在同種物質(zhì)內(nèi)部相鄰各部分之間的相互吸引力，是它在阻礙相鄰各部分之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，因此汞的流動(dòng)阻力更大。

由于滴管流量計(jì)在測(cè)量小流量方面存在一定的局限性，我們研發(fā)了一種新穎的真空滴管流量計(jì)，它既可在大氣壓狀態(tài)下使用，又可在真空狀態(tài)下使用，使它的量程向小流量方向拓展，因此可以完美解決上述問(wèn)題。

JB/T 7675—2005“往復(fù)真空泵”中的流量測(cè)量裝置已太陳舊了，它不但需要一個(gè)體積龐大的儲(chǔ)氣罐，而且容積要求不小于氣缸理論抽氣容積的20倍，也就是說(shuō)，一臺(tái)600L/s的往復(fù)泵在測(cè)量體積流率時(shí)需配備一個(gè)2m3以上的儲(chǔ)氣罐。此外，還需要配備連接管道、調(diào)節(jié)閥和根據(jù)不同流量所選擇的噴嘴及配套的風(fēng)管，測(cè)量中還需根據(jù)不同流量調(diào)換噴嘴和風(fēng)管。

我們認(rèn)為，可以使用GB/T 13930—92“水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)氣量測(cè)定方法”中的計(jì)量噴嘴來(lái)進(jìn)行往復(fù)泵氣量的測(cè)量。在執(zhí)行GB/T 13930—92的過(guò)程中，我們發(fā)現(xiàn)由于“集束效應(yīng)”，從噴嘴中進(jìn)入的超音速氣流測(cè)試罩內(nèi)后壓力的均衡性和穩(wěn)定性較差，因此測(cè)試罩的長(zhǎng)度L與直徑D之比應(yīng)大于5。由于“計(jì)量噴嘴”結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、測(cè)量方便、有較高的準(zhǔn)確度，在容積泵體積流率的測(cè)量中得到了廣泛的應(yīng)用。

必須指出的是，計(jì)量噴嘴應(yīng)盡量避免壓力在3kPa以下時(shí)使用，因?yàn)樵诘蛪籂顟B(tài)下噴嘴的“集束效應(yīng)”更嚴(yán)重；同時(shí)，低壓狀態(tài)下開啟的噴嘴孔徑都很小（1.5mm、2mm等），“附面層”（流體動(dòng)力學(xué)）雖然很薄，但對(duì)小口徑的噴嘴而言，已有明顯的影響，而且這種影響很難消除。

在JB/T6533旋片真空泵和JB/T1246滑閥真空泵的技術(shù)要求中，規(guī)定“泵的幾何抽速應(yīng)為名義抽速的1~1.2倍”，憶及當(dāng)時(shí)起草這一條文時(shí)，是考慮到當(dāng)時(shí)老產(chǎn)品多、規(guī)格不一，求大同、存小異，采取的臨時(shí)性規(guī)定，此后一直沿用至今。如今老產(chǎn)品都已經(jīng)淘汰，應(yīng)當(dāng)取消這一規(guī)定。實(shí)際上，國(guó)內(nèi)外所有容積泵的名義體積流率均為為幾何體積流率的圓整值，至于圓整值的偏差各有不同，不必、也不宜作具體規(guī)定。
（責(zé)任編輯：fqj）