全球經濟一片愁云慘霧,多數金融機構都預期2020年,將是金融海嘯以來經濟表現最差的一年。
對臺積電4萬多名員工而言,前景卻是一片燦爛,如同11月2日,臺積運動會舉辦時,新竹秋高氣爽的艷陽天一般。
「明年,將會是大大成長的一年,」董事長劉德音在司令臺致詞時,慷慨激昂地說。這句話,第二天出現在各大報的頭條。如同呼應劉德音的喊話,外資券商也紛紛上調臺積的獲利預期。
例如,美商伯恩斯坦證券便在3天后,將臺積股價從285元上調到330元,并預期2020年、2021年,這兩年每股獲利將年均成長20%,遠高于過去幾年的個位數。美國《霸榮周刊》(Barron‘s)更在10月18日刊出頭條新聞,「臺積電奪走英特爾的皇冠」。開頭就寫,臺積電開足馬力,這對英特爾而言是壞消息。
為何景氣低迷時,臺積能大踩油門,在未來兩年,每年增加約40%的天文數字投資,甚至可望創造較過去高出2、3倍的成長?臺積的經營層看到什么?分析師又看到什么?《天下》采訪多位相關人士。歸納出四個致勝關鍵。
致勝關鍵1 ? 率先突破技術瓶頸
第一個理由,也是最直接的,當然是劉德音在股東報告書寫的,成功量產七納米制程,領先其他同業至少一年。并且,今年6月成功量產業界首個商用極紫外光(EUV) 微影制程,也就是第二版本的七納米技術N7+。
此事意義深遠。因為這是史上第一次,臺積在一個重要技術轉折時,領先群雄。
上一次重要的技術轉折——導入3D電晶體(臺積、三星稱為FinFET,英特爾稱為Tri-gate ),臺積足足落后英特爾4年,落后三星半年。這回的極紫外光(EUV)之役,卻領先英特爾兩年,英特爾要到2021年才會導入。
很多改變歷史的關鍵,往往是一些一開始不被注意的小事。而臺積這次得以甩開三星、英特爾,關鍵其實是幾顆小到肉眼無法辨識的「灰塵」。
EUV微影制程,是半導體產業期待已久的「救世主」技術。
目前半導體制程的主流光源是氬氟雷射,波長為193納米,當電晶體尺度已微縮到幾十納米時,就像用一支粗毛筆寫蠅頭小字一般,生產起來有點力不從心。這也是近幾年,摩爾定律即將告終聲浪不斷的主因。
極紫外光的波長僅有13.5納米,這支「超細字小楷」波長已經接近X光,世界上多數物體對它而言都是不透明,連空氣都會干擾EUV,因此生產機臺的內部得抽成真空。
半導體技術,也因此正式進入皮米(picometer)時代,即納米的千分之一。EUV只能用鏡子反射,由德國蔡司產制的反射鏡,得做到史無前例的完美無瑕,能容許的瑕疵僅能是皮米大小。這相當于,如果鏡面積有整個德國大,最高的突起處不能高于1公分高。
對抗制程的「老鼠屎」:納米灰塵
EUV對生產環境潔凈度的要求,更是前所未有的嚴苛。
例如,包括臺積自制的光罩基板(mask blank),是一片6吋大小的明亮圓鏡,造價數百萬。上頭80層多層膜反射層,跑進去幾顆納米級的灰塵,都會對芯片良率造成巨大影響。
獨家供應EUV機臺的荷蘭商艾司摩爾(ASML)研發副總經理嚴濤南表示,現在已經從一開始的100顆,慢慢減少到個位數。若從艾司摩爾的曝光機飄下灰塵,更是不能容忍。嚴濤南表示,技術規格是,每曝1萬片晶圓,只能掉1顆,「我們已經非常接近。」
因為控制灰塵太難,EUV量產階段的最關鍵技術,是一片薄如蟬翼,厚度只有50納米,相當于一根頭發直徑千分之一的透明薄膜。這片「光罩護膜」(pellicle),用在晶圓生產的光罩上頭。用來隔絕細微的塵粒。否則,只要一顆塵粒掉到光罩上,可能導致整批芯片作廢。
在10月的法說,當分析師群起追問EUV的進度時。臺積總裁魏哲家胸有成竹地說,「我們已經準備好了,」并強調,「臺積自己生產光罩護膜。」
因為光罩護膜太難做了,處處得挑戰物理的極限。要將矽磨到僅有50納米厚,但EUV照射時,瞬間局部溫度會升到數百度。「有點震動,啪,就裂掉了,」一位供應商說。
光罩護膜一旦破碎,瞬間飄出的細微碎屑會污染生產機臺,得花7天整理,形同產線停擺1星期。臺積供應商透露,三星跟英特爾都卡在光罩護膜這關,導致EUV生產效率遲緩。
那臺積如何過關?
一位供應商表示,臺積另辟蹊徑,在光罩盒加上特殊的防塵設計,意外發現,可以不靠光罩護膜,就達到一定的良率,便大膽量產。「這有可能,」嚴濤南表示,雖然他不知道臺積最新技術突破的細節,但臺積很早就投入研發「不用光罩護膜的方案」。技術瓶頸一突破,臺積就開始踩油門,大舉量產EUV制程。
EUV微影機每臺售價超過1億美元,是人類史上最貴的「工具機」。盡管臺積與艾司摩爾都不揭露臺積進了多少EUV機臺。根據財政部資料,***今年向荷蘭進口的「半導體生產設備」暴增,光是今年1到10月,就高達33.8億美元,相當于過去兩年全年進口量。
致勝關鍵2 ? 乘勝加碼投資,靠EUV狠甩對手
「張忠謀神話」當中,有個經典篇章。時間是在2009年。
當時金融海嘯剛過,景氣還在谷底,張忠謀剛回任執行長,看好智慧型手機的未來需求,竟大筆一揮,將翌年(2010年)的資本支出,倍增至59億美元,大蓋當時最先進的28納米產能。在眾人驚呼中,奠定臺積日后的高速成長。
10月的臺積第二季法說,里昂證券分析師便問臺積總裁魏哲家,臺積今明兩年的大手筆擴建,會不會預期產生,與2010年那次擴建28納米產能類似的榮景嗎?
這題其實是做球給魏哲家。
沒想到,魏哲家竟意外地切換到「深刻反省」模式。「我知道你在說什么,」他說,「但我認為,臺積已經更加聰明……我們這次擴充產能,經過跟顧客的緊密合作與很詳細的分析,我有信心,我們不會再犯過去的錯誤。」
其實,魏哲家會「誤解」分析師的問題,背后另有原因。
「這次的擴產,其實臺積內部有不同聲音,」一位外資分析師解釋。28納米制程是臺積史上最成功的制程。但后期因過度擴建、同業殺價競爭,現在反而成了臺積最大的累贅。今年上半年毛利率偏低,主要就是28納米產能利用率「非常低」的拖累。
因為擔心如此大規模的投資,會重蹈28納米「先盛后衰」的覆轍,臺積內部規劃部門一開始抱持反對意見,「而且一路呈到最上面,」一位分析師說。但最后劉德音、魏哲家還是決定「大踩油門」。另一個重要理由是,競爭者追不上,因為「EUV的技術門檻遠遠比28納米的高介電金屬閘極(HKMG)要高,」魏哲家說。
研發眼光長遠,種下好因
但奇怪了,EUV早年可是英特爾一手扶持的技術,2012年,艾司摩爾研發進度延宕,臺積還與英特爾、三星三巨頭各出102億元臺幣資助。大家都出錢出力。為什么臺積對該技術特別有信心?
答案是:因為臺積對這個夢幻技術量產的實質投入最多。
艾司摩爾的研發副總嚴濤南是活生生的見證。他曾是臺積20多年的研發老將,曾任主導臺積EUV研發的資深處長,兩年前才加入艾司摩爾。他早在1990年代后期,就跟當時長官林本堅赴美觀察EUV的進展。「那時臺積不大,但是研發就已經看得很遠了,」嚴濤南說。
接下來,他派一個研究員去比利時的愛美科(Imec)半導體研發機構,參與和艾司摩爾合作的開發案,一開始狀況很不樂觀,實驗機臺有大部份時間,都處于故障狀態。兩年時間,只寄回來20片晶圓。「但是繪制的線圖非常漂亮,」所以當時剛回鍋的資深研發副總蔣尚義,就批準買一臺樣機研究。
要讓EUV實際上陣量產,難題無數,其中最棘手是如何產生足夠強度且穩定的光源。目前的方法,簡直像是做高能物理實驗一般。在真空環境用超高能量的雷射,射擊一滴滴僅有細菌大小的錫滴,錫滴會瞬間氣化,變成高熱的電漿,同時產出EUV光線。
整個反應過程,浪費許多能量,因此最后輸出功率極低,甚至有好幾年停留在40瓦,距離250瓦的量產目標甚遠。業界不少人因此質疑,EUV永遠無法進晶圓廠量產。
2014年9月,是一個分水嶺。嚴濤南牢牢記得那個晚上,他在新竹廠里加班,跟艾司摩爾工程師一起嘗試,最后看到90瓦輸出功率,大為振奮。
「這是我這輩子最興奮的一個晚上,」他回憶。
他立刻將結果帶到10月在美國華盛頓舉行的業界盛會EUVL Symposium發表,引起臺下聽眾一陣驚呼。為了確認穩定性,研發資深副總羅唯仁立即要求,每天用EUV生產500片晶圓,連續生產1個月。
達成之后,嚴濤南總算松了口氣,EUV量產應該是八九不離十了。
為什么不是在三星,或者英特爾?
一位業界資深人士分析,三星與英特爾主要生產自家產品,尤其是英特爾處理器毛利率高達70%,可以忍受緩慢的生產速度,因此「英特爾(對EUV)的態度比較保守。」
但是為客戶產品代工的臺積無法如此,因此全力協助艾司摩爾研發,要提升到每小時125片的量產速度,也就是250瓦的輸出功率。
「如果一直只有40瓦,那(臺積)就沒有戲唱啊,我們就一直push、一直push,」嚴濤南說,多數艾司摩爾的EUV技術突破,都是千里迢迢地從美國或荷蘭,拿到竹科12廠的研發工廠,完成首度量產測試。
致勝關鍵3 ?臺積高良率力克對手
盡管如此,一個封裝大廠主管透露,臺積的EUV版7納米雖已量產,但良率其實不佳,只有50%左右,形同切割出來的芯片,兩片只有一片能用。這也是臺積7納米產能吃緊的一大原因。
因此,臺積在今年追加的40億美元左右的資本支出,其實有15億用來擴增7納米產能,其他25億,才是用在明年第一季就要量產的5納米產能。
搶不到臺積產能,「前陣子很多人跑到三星看,去找備胎,」這位封裝大廠主管說,「但是臺積老神在在。」
盡管三星「宣稱」已在去年底量產采用EUV的7納米制程,但卻因為良率問題。「所以大家看了之后,又回來臺積排隊,」他表示。
因為記憶體景氣低迷,三星近來加碼晶圓代工事業。在今年4月發表「半導體愿景2030」,宣布要在2030年達到記憶體之外的半導體業務世界第一的目標,打敗英特爾、臺積。
三星更隨后預告,將跳過5納米,直接在3納米制程導入全新的「環繞式閘極結構」(Gate-All-Around,GAA),借著重新設計電晶體底層結構,可讓尺度減少45%、性能提升35%、電力消耗減少50%——幾乎等于摩爾定律微縮一個世代的好處。
而且,三星公告的量產時間是2021年,竟然比臺積3納米的預定量產時間還早一年。
當真孰可忍孰不可忍。7月份的臺積法說,劉德音當眾吐槽三星,他指出,臺積的5納米跟3納米,都是貨真價實的「全節點微縮」(full-node shrink),「這跟我們競爭對手的技術藍圖不一樣喔,所以你如果比較他們的『3』,其實是跟(臺積的)『5』比較接近。」
一位外資分析師解釋,劉德音這段話暗示,三星「偷斤減兩」,利用換上全新的電晶體結構,效能大幅提升之際,假裝再微縮一個世代,稱為3納米,其實實際尺度僅較7納米微縮一個世代,與臺積明年第一季量產的5納米同一等級。所以臺積還是領先三星。
而且,一位臺積前任研發主管透露,臺積研發GAA結構已有10多年歷史。
甚至早在2004年,臺積就在半導體業界知名的「國際超大型積體電路技術研討會」(VLSI)發表論文,公開以GAA技術設計的5納米電晶體。「只看臺積要不要在(3納米)這時候就拿出來,」這位主管說。
致勝關鍵4 ?抓緊AI強大需求,直攻1納米
所有高科技公司最大的夢魘,就是所處的領域的技術演進已到盡頭,即將進入「傳產化」(commoditization)的枯燥地獄,原本落后的追兵會一擁而上,價格一落千丈。例如現在的太陽能、LED。
2016年,當時還擔任臺積董事長的張忠謀,接受《天下》專訪時表示,摩爾定律停止的時間點,可能會在2025年左右,停在2納米制程。
現在,距離這個「大限之日」只剩6年,臺積也已經著手研發2納米。(延伸閱讀:地表最接近工業4.0!臺積電兩大獨門武器首度公開)
在臺積運動會后的記者會,《天下》再問心情很好的張忠謀,還堅持他當年的末日預言嗎?他笑咪咪地回答,他已經不再預測摩爾定律的結束日期,「這種東西要怎么說呢,就是『山窮水盡疑無路、柳暗花明又一村』。」
劉德音隨后補充,臺積有信心做到1納米以下,更重要的是——他舉了微軟執行副總沉向洋前一周在***半導體協會(TSIA)年會的演講為例,「沉向洋的keyword就是,『在AI的世界,計算能力永遠是不夠的』(computing power is never enough)。」
「永遠不夠,」劉德音又強調一次,「這是我們驅動最尖端科技的一個confirmation(保證)。」這其實呼應張忠謀過去的說法,摩爾定律其實是個經濟定律,如果市場不愿付錢買最新技術,摩爾定律自然走不下去。
例如,過去一直有人質疑,除了蘋果、高通,還有誰用得起、或者需要用昂貴無比的3納米技術?
但進入AI、5G(AI的通路)的時代,登時「柳暗花明又一村」。答案變成:每一家公司。
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