日前，安徽熙泰智能科技有限公司（以下簡稱“熙泰”）硅基OLED工廠首臺設備——蒸鍍設備搬入。

據顯示，熙泰坐落于安徽省蕪湖市長江大橋綜合開發區辰泓達產業園內，致力于為全球用戶提供優質的硅基AMOLED微型顯示器產品及技術支持。

公司2016年研發中心成立，2017年7月份圓滿建成，全面投入運行。現有包括科研人員、外聘人員等在內的專業研發人員20多名，50％以上具有碩士研究生以上學歷。中心研發產品主要集中于LCOS、硅基OLED微顯示器、硅基LED微顯示器和相關儀器設備等方向。

該研發中心所使用的是團簇式設備，由四個真空腔室、一個傳遞腔室和用于封裝用的手套箱（水和氧氣含量小于1 ppm）構成，總控腔體（1）用于機械手自動傳輸并能控制各個腔體的工作。

真空腔體為等離子體清洗腔體（2）用于清洗基板，有機熱蒸發薄膜蒸鍍腔體（3）用于蒸鍍OLED各個功能層；兩個磁控濺射腔體（4和5）腔體用于制作金屬和化合物電極。所有真空腔體的真空度可達10－5 pa。

硅基OLED是將半導體和OLED結合的一種顯示技術，具有高亮度、高對比度、高PPI、高集成度、低響應時間及低功耗等特性。目前，京東方、視涯、Kopin、索尼等大廠也都在積極推進硅基OLED技術發展。