III-V族化合物,III-V族化合物是什么意思
III-V族化合物,III-V族化合物是什么意思
III-V族化合物半導體;III-V group elements compound semiconductor
分子式:
CAS號:
性質:元素周期表中III族的B,Al,Ga,In和V族的N,P,As,Sb形成的化合物半導體材料。III-V族化合物的表示式為A(III)B(V),如BN,BP,BAs,BSb,AlN,AlP,AlAs,AlSb,GaN,GaP,GaAs,GaSb,InAs,InN,InP和InSb。其中BN,AlN,GaN和InN是纖維鋅礦結構,其余十二種為閃鋅礦結構。III-V族化合物的一個重要特點是含有一個V族的揮發性組元,在它們熔點時,存在一個V族元素的離解壓,以磷化物離解壓為最高。III-V族半導體化合物制備方法有以下幾種:液封直拉法(LEC)、高壓液封直拉法(HPLEC),水平區熔法(HB)和垂直梯度凝固法(VGF)等。薄膜制備方法有液相外延(LPE),氣相外延(VPE),分子束外延(MBE),化學束外延(LBE)和金屬有機化合物化學氣相淀積(MOCVD)等。III-V族化合物半導體材料在光電子器件,光電集成,超高速微電子器件和超高頻微波器件及電路上得到重要應用,有廣闊前景。
所謂III-V族化合物半導體,是指元素周期表中的III族與V族元素相結合生成的化合物半導體,主要包括鎵化砷(GaAs)、磷化銦(InP)和氮化鎵等。此類材料具有閃鋅礦結構(Zincblende)結構。鍵結方式以共價鍵為主。由于五價原子比三價原子具有更高的陰電性,因此有少許離子鍵成份。正因為如此,III-V族材料置于電場中,晶格容易被極化,離子位移有助于介電系數的增加,若電場頻率在紅外線范圍。GaAs材料的n型半導體中,電子移動率((mn~8500)遠大于Si的電子移動率((mn~1450),因此運動速度快,在高速數字集成電路上的應用,比Si半導體優越。但是,由于GaAs材料的集成電路制程極為復雜,成本也較昂貴,且成品的不良率高,單晶缺陷比Si多。因此GaAs要如同Si半導體普及應用,仍有待研發技術的努力。但另一方面,其優點是具備能夠發出激光等目前硅所沒有的特性。?
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