倡導半導體潔凈鏈概念，Swagelok舉行中國半導體客戶研討會

除了追求更小的終端尺寸，半導體業界向著更精細工藝邁進的動力也許就只剩下成本競爭力了。隨著65nm、45nm工藝的逐漸推廣，以Intel為首的半導體供應商們可以在單位晶圓面積上制造出更多的芯片。不過，在實現更低成本的征途中，還不應忘記良率的重要性。事實上，如何盡可能的降低由于良率的損失而造成的成本提升已成為半導體廠商提升競爭力的關鍵。影響良率的因素有很多，制程、設備與產品組合的復雜性、操作員或工程師的經驗、設備的新舊、制程的周期時間、制程導入的時間、在制品的數量等等。當然，還包括設計、生產到封裝測試的全過程中嚴格潔凈的環境。

“從設計、生產到封裝測試，半導體生產的全過程都需要一個嚴格潔凈的環境。”Swagelok(世偉洛克)半導體服務公司產業和技術經理John Baxter不久前在上海表示，“日益嚴格的超高純(UHP)生產環境需要一系列的高純度和超高純度流體系統部件，Swagelok致力于為半導體客戶提供這樣的解決方案?！?

Baxter此行是出席Swagelok在面向半導體產業客戶舉辦的研討會。據稱，過去幾年來，這家公司在大中華區半導體行業的業務成長可觀。然而大環境近一年來的不景氣也對這部分業務造成了一定的影響。此次活動就是在市場腳步趨緩時與客戶進行當面交流，深入了解客戶需求。

Swagelok此次活動選擇在上海、大連、西安三地舉行。不難發現這三地也是中國代工廠聚集的代表性城市，特別是考慮到SMIC、TSMC在上海以及Intel在大連的投資。作為全球流體系統解決方案的主要開發商和提供商，Swagelok為全球科研、儀表、制藥、石油和天然氣、電力、石化、替代燃料和半導體行業提供潔凈鏈系統解決方案。Baxter表示，Swagelok的流體系統零部件產品線，包括膈膜閥、VCR金屬墊片密封和Micro-Fit焊接接頭、氣壓調壓閥、壓力表、傳感器、過濾器，模塊化氣體系統零部件及卡套管、塑料閥、塑料接頭和塑料卡套管以及軌道焊接系統等。

生產超潔凈系統閥和街頭不僅需要電拋光早期設計使其看起來閃亮平滑，還需要專門研發出新設計、材料和方法來滿足煙嚴苛的清潔規范要求。Baxter介紹了Swagelok的潔凈鏈概念。這個鏈條包括設計、材料選擇、生產、潔凈、檢驗、包裝和安裝七個環節?！斑@些環節緊密相連，忽視任何一個環節都會令整個潔凈鏈斷裂，對最終的產品性能造成影響?！币栽O計為例，一個重要的宗旨就是，零部件可被簡單迅速地清洗和凈化，應用中很少生成顆粒，幾乎沒有造成截留。此外，在材料選擇上，該公司也對用于生產清潔、無泄漏零部件的原材料仔細選擇，重點放在化學成分、材料特性、夾雜物以及其他特征材料上。

除了各種流體系統連接部件外，Baxter還介紹了該公司的CR-288濃度監測器。據稱，這是半導體行業首個提供流體化學濃度在線分析的小型裝置?？砂惭b在生產液流或化學品傳送與混合點。Baxter表示，通過監測半導體生產中的液流，CR-288可幫助行業減少化學品消耗、改進過程控制和可見性、探測過程問題、減少晶圓報廢并提高生產力。

“潔凈鏈代表了Swagelok對半導體客戶的質量承諾。”Baxter強調，“它使客戶相信所有用于UHP系統的閥門和接頭都嗯那個滿足最高潔凈度標準的要求。”