在MEMS傳感器技術不斷發展的背后，市場的導向起了極其關鍵的作用，智能手機、平板電腦等便攜設備近年來帶領MEMS騰飛就是很好的證明。在未來幾百億美元的龐大MEMS市場中，了解哪些領域穩步發展、哪些領域蘊藏潛力是非常必要的。

在傳統的汽車電子和消費電子迎來MEMS傳感器需求的穩步增長外，隨著人口老齡化，各種遠距離監護和高精度治療設備將越來越多地被引入，未來增長最快的應用市場將來源于醫療電子。ADI微機械產品線高級應用工程師趙延輝表示，由于MEMS具有微型的特點，可以代替器官植入、微量檢測，主要的發展方向是血管內手術和顱內手術以及細胞手術。

除去以上三個領域，在工業領域中，MEMS也有很大的應用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來越多的用在各種機械振動監測上，這可以用來監測馬達、軸承等的振動、從而實現預見性維護；利用MEMS技術實現的傾角傳感器產品也被廣泛用在各種工業測量設備上；還有遙控直升機的伺服系統、兩輪車的平衡系統、天線穩定平臺等。

不同類型的傳感器封裝（資料圖）

市場應用增長的關鍵——封裝技術

MEMS傳感器從分立不斷走向融合，正是源于人們對MEMS產品小體積、低成本的不斷追求，這恰恰也是目前各大廠商所面臨的主要挑戰和所致力突破的瓶頸。

意法半導體公司AMS產品部技術市場經理閆子波表示：“意法半導體在加速度傳感器、陀螺儀和地磁傳感器有著長期的技術和IP積累，但小型化仍然是當前面臨的較大挑戰之一。”為解決這些問題，意法將采用多項技術來解決，比如今后的加速度傳感器和陀螺儀可以共享一個MEMS芯片，六軸系統可集成到更小的封裝中，而不用像現在加速度和陀螺儀分別使用兩個MEMSDie，占用較大的面積。

創新的封裝技術不僅解決了小型化的問題，在提高產品性能方面也是關鍵。提到高性能，ADI微機械產品線高級應用工程師趙延輝也表示，當前很多應用對MEMS產品要求已經超過了簡單的運動檢測，而是要求其在各種極端環境下有穩定、可靠、高精度的輸出。這就對MEMS傳感器中的機械設計、電子設計、封裝設計等都提出了很高的要求。ADI一直關注這些客戶需求，并持續引領在這些方面的設計創新。比如ADI的最新一代陀螺儀，就采用了先進的四核差分傳感器設計，這使得其振動抑制特性比前一代陀螺儀系列改善了一個數量級。同時，可以獲得更好的噪聲特性和零偏穩定性。