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中國光刻機現在多少納米 光刻機的基本原理

西西 ? 來源:網絡整理 ? 作者:網絡整理 ? 2022-07-04 11:21 ? 次閱讀
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眾所周知,光刻機一直處于壟斷地位,在光刻機領域,最有名的就是ASML公司了。

如今最先進的光刻機是600系列,光刻機最高的制作工藝可以達到90納米。但是相比于荷蘭ASML公司旗下的EUV光刻機,最高可以達到5納米的工藝制作。

而且即將推出3納米工藝制作的芯片。但是據相關信息透露,預計我國第一臺28納米工藝的國產沉浸式光刻機即將交付。盡管國產光刻機仍與ASML的EUV光刻機還有很大的距離,雖然起步晚,但是國人的不斷努力,仍會彎道超車。

截止2022年6月,世界上最先進的光刻機已經能夠加工13 納米線條。而我們人類的頭發絲直徑大約是 50~70微米,也就是說,光刻可以刻畫出只有頭發絲直徑1/5000的線條。

據報道上海微電子研發出的28納米國產光刻機整機已經安排生產,再過一兩年一定能用于國產芯片的生產,而且,按中芯國際梁孟松在2020年就說到的,一定能用于規模量產7納米芯片。

光刻機的生產國家有荷蘭、中國、日本、美國、韓國,其中荷蘭光刻機的精度為首。

光刻機是一個制造芯片的機器,芯片上的圖形模板(微電路)需要用機器來雕刻。這就是光刻機的基本原理,利用高級技術去制造芯片。又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。

文章綜合文學小百靈、螳臂推車、科技老番茄、情聲課堂

編輯:黃飛

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