由于日韓兩國之間的貿(mào)易糾紛,日本政府7月初決定禁止三種重要半導體、顯示面板材料出口給韓國,迫使韓國公司走上獨立自主的道路。LG公司日前證實,旗下面板工廠已經(jīng)完成使用國產(chǎn)氟化氫材料取代日本進口,100%韓國產(chǎn)。
高純度的電子級氟化氫是氟精細化學品的一種,在半導體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學氣相沉積爐內(nèi)的不必要化學物質、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細槽或孔等流程,是一種半導體生產(chǎn)中非常重要的原材料,日本公司在這個領域占據(jù)主要份額。
在日本發(fā)布出口限制之后,8月份對韓國出口的氟化氫材料就降至0了,但是此舉并沒有影響三星、SK海力士及LG等韓國公司的芯片、面板生產(chǎn),他們利用庫存3-5個月的時間積極展開國產(chǎn)替代,其中氟化氫是比較容易取得成功的領域。
相比半導體生產(chǎn),面板生產(chǎn)所需的高純度氟化氫也更容易取代,所以LG公司在這方面率先取得了進展,9月初就宣布使用韓國產(chǎn)的氟化氫取代日本進口材料,試驗結果很成功。
此前LG取代的主要是氣態(tài)氟化氫,現(xiàn)在難度更高的液態(tài)氟化氫的國產(chǎn)替代也成功了,14日LG旗下的LGD公司表示面板生產(chǎn)過程使用的液態(tài)氟化氫已經(jīng)于近期全面替換為韓國產(chǎn)品,未來將不再使用日本公司的進口產(chǎn)品。
與LG相比,三星、SK海力士也在積極展開日本材料的替換工作,不過這兩家的主力產(chǎn)品是半導體芯片,對日產(chǎn)氟化氫以及另外兩種材料光刻膠、氟化聚酰亞胺的依賴性比LG更高,替換起來沒這么容易。
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